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公开(公告)号:DE112013004626T5
公开(公告)日:2015-07-02
申请号:DE112013004626
申请日:2013-09-17
Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM
Inventor: PARK KYUNG HYUN , KIM NAM-JE , KO HYUN-SUNG , LEE DONG-HUN , HAN SANG-PIL , RYU HAN-CHEOL , PARK JEONG-WOO , MOON KI WON , KIM DAE YONG
IPC: H01S4/00
Abstract: Hierin sind ein Photomischer und ein Verfahren zum Herstellen des Photomischers beschrieben, welche die bestehenden einschränkenden Faktoren einer PCA und eines Photomischers, welche Kernbestandteile eines herkömmlichen Breitband-Terahertz-Spektroskopie-Systems sind, grundsätzlich lösen können. Der dargestellte Photomischer enthält eine aktive Schicht, die auf einer oberen Fläche eines Substrats gebildet ist, wobei die aktive Schicht auf einem Bereich gebildet ist, auf welchen Licht einfällt, und eine thermisch leitende Schicht, die auf der oberen Fläche des Substrats gebildet ist, wobei die thermisch leitende Schicht auf einem Bereich gebildet ist, welcher sich vom dem Bereich unterscheidet, auf welchen Licht einfällt. Die aktive Schicht ist derart gebildet, dass sie einen Mesa-Querschnitt aufweist, und die thermisch leitende Schicht ist auf dem Bereich, welcher sich von dem Bereich unterscheidet, auf welchen Licht einfällt, mittels eines MOCVD-Verfahrens nachwachsen gelassen worden und weist eine abgeflachte Oberfläche auf.