公开(公告)号：DE102015109047A1

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：DE102015109047

申请日：2015-06-09

Applicant: KOREA RES INST OF STANDARDS

Inventor： OGAWA TAKASHI ,  CHO BOK LAE ,  AHN SANG JUNG ,  PARK IN YONG ,  HAN CHEOLSU

IPC: G21K1/06 ,  H01J37/26

Abstract: Es werden hier ein Monochromator und eine Vorrichtung mit geladenem Partikelstrahl, die diesen enthält, offenbart. Der Monochromator kann eine erste elektrostatische Linse, die so konfiguriert ist, dass ein geladener Partikelstrahl, der von einem Emitter abgegeben wird, auf die erste elektrostatische Linse einfällt, sie einen Strahl des geladenen Partikelstrahls bricht und eine Mehrzahl von Elektroden enthält, und eine zweite elektrostatische Linse enthält, die von der ersten elektrostatischen Linse in einem spezifischen Intervall beabstandet und so konfiguriert ist, dass sie eine Mittelachse aufweist, die identisch mit einer Mittelachse der ersten elektrostatischen Linse angeordnet ist, der geladene Partikelstrahl, der von der ersten elektrostatischen Linse ausgegeben wird, auf die zweite elektrostatische Linse einfällt, den Strahl des geladenen Partikelstrahls bricht und eine Mehrzahl von Elektroden umfasst. Demgemäß besteht ein Vorteil darin, dass ein geladener Partikelstrahl ein ausgezeichnetes Profil aufweisen kann, sogar nachdem er den Monochromator passiert hat.