公开(公告)号：KR20200128185A

公开(公告)日：2020-11-11

申请号：KR20207031392

申请日：2019-03-15

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： YANG WENBING ,  MUKHERJEE TAMAL ,  BROURI MOHAND ,  TAN SAMANTHA ,  PAN YANG ,  KANARIK KEREN JACOBS

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/67

Abstract: 기판상의내화성금속또는다른고 표면결합에너지재료를에칭하는것은내화성금속/고 EO 표면의평활도 (smoothness) 를유지하거나상승시킬수 있고, 일부경우들에서극도의평활화를생성한다. 노출된내화성금속/고 EO 표면을갖는기판이제공된다. 내화성금속/고 EO 표면은표면을개질하고개질된내화성금속/고 EO 표면을형성하도록개질가스에노출된다. 개질된내화성금속/고 EO 표면은개질된내화성금속/고 EO 표면을제거한후 노출된내화성금속/고 EO 표면이개질가스에기판표면을노출하기전 기판표면만큼평활하거나 (smooth) 기판표면보다평활하도록, 아래에있는개질되지않은내화성금속/고 EO 표면에대해개질된내화성금속/고 EO 표면을우선적으로제거하도록에너제틱입자에노출된다.