公开(公告)号：WO2006060234A3

公开(公告)日：2006-07-20

申请号：PCT/US2005042294

申请日：2005-11-21

Applicant: LAM RES CORP ,  SHIH HONG ,  HUANG TUOCHUAN ,  ZHOU CATHERINE ,  MOREL BRUNO ,  MCMILLIN BRIAN ,  MULGREW PAUL ,  AVOYAN ARMEN

Inventor： SHIH HONG ,  HUANG TUOCHUAN ,  ZHOU CATHERINE ,  MOREL BRUNO ,  MCMILLIN BRIAN ,  MULGREW PAUL ,  AVOYAN ARMEN

IPC: B08B3/12 ,  B08B3/00 ,  B08B3/10 ,  B08B3/14 ,  B08B5/00 ,  B08B6/00 ,  B08B7/00 ,  B08B7/02 ,  C23G1/02

CPC classification number: H01L21/6831 ,  B08B3/12 ,  H01L21/6704

Abstract: A non-destructive and simple method for cleaning a new or used electrostatic chuck comprises a wet cleaning process, which removes contaminants deposited on a surface of the electrostatic chuck.

Abstract translation: 用于清洁新的或使用过的静电卡盘的非破坏性和简单的方法包括湿式清洁工艺，其去除沉积在静电卡盘的表面上的污染物。

公开(公告)号：EP1824615A4

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：EP05849352

申请日：2005-11-21

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： SHIH HONG ,  HUANG TUOCHUAN ,  ZHOU CATHERINE ,  MOREL BRUNO ,  MCMILLIN BRIAN ,  MULGREW PAUL ,  AVOYAN ARMEN

IPC: B08B3/12 ,  B08B3/00 ,  B08B3/10 ,  B08B5/00 ,  B08B7/00 ,  C23G1/02

CPC classification number: H01L21/6831 ,  B08B3/12 ,  H01L21/6704