公开(公告)号：ES2993427T3

公开(公告)日：2024-12-30

申请号：ES21794874

申请日：2021-11-05

Applicant: LAMBDA X OPHTHALMICS

Inventor： BOUSSEMAERE LUC ,  ANTOINE PHILIPPE ,  BOUWENS ARNO ,  JOANNES LUC

IPC: G01M11/02 ,  G02C7/02

Abstract: Método para la conversión de una medida de una lente (1) que comprende los siguientes pasos: recibir una medida experimental de lente (EXP) de la lente (1) a partir de una medida de luz de la lente (1); determinar a partir de la medida experimental de lente (EPX) un modelo digital de lente que representa la lente (1) (S1); determinar, a partir del modelo digital de lente, una medida digital de lente convertida (SIM2) que representa una medida convertida de lente de la lente (1) (S2); determinar, a partir de la medida experimental de lente (EXP1) y de la medida digital de lente convertida (SIM2), un resultado de medida (CON) para la lente (1) (S3). (Traducción automática con Google Translate, sin valor legal)

公开(公告)号：BE1027225A9

公开(公告)日：2021-01-27

申请号：BE201905272

申请日：2019-04-24

Applicant: LAMBDA X

Inventor： ANTOINE PHILIPPE ,  BEGHUIN DIDIER ,  JOANNES LUC

IPC: G01M11/02 ,  G01N21/45 ,  G02B27/54

Abstract: Système de mesure (200) par déflectométrie d’un échantillon (2) comprenant : - une source (10) pour générer un faisceau lumineux en un plan source (105) ; - un module d’illumination (19) pour former un faisceau d’illumination (9) comprenant : o un premier élément optique convergent (18) ; o un premier élément optique de sélection (16) présentant une première ouverture (160) ; - des moyens de modulation optique matriciels (30) en réflexion, pour former un motif (7), ladite première ouverture (160) étant configurée pour contrôler les angles dudit faisceau d’illumination (9) sur lesdits moyens de modulation optique matriciels (30) en réflexion ; - une lentille de Schlieren (20) pour obtenir un codage angle-intensité dudit motif (7) sur l’échantillon (2) ; - des moyens d'imagerie (40) et de détection (50) pour détecter une image dudit échantillon (2).

公开(公告)号：BE1027225B9

公开(公告)日：2021-02-03

申请号：BE201905272

申请日：2019-04-24

Applicant: LAMBDA X

Inventor： ANTOINE PHILIPPE ,  BEGHUIN DIDIER ,  JOANNES LUC

IPC: G01M11/02 ,  G01N21/45 ,  G02B27/54

Abstract: Système de mesure (200) par déflectométrie d’un échantillon (2) comprenant : - une source (10) pour générer un faisceau lumineux en un plan source (105) ; - un module d’illumination (19) pour former un faisceau d’illumination (9) comprenant : o un premier élément optique convergent (18) ; o un premier élément optique de sélection (16) présentant une première ouverture (160) ; - des moyens de modulation optique matriciels (30) en réflexion, pour former un motif (7), ladite première ouverture (160) étant configurée pour contrôler les angles dudit faisceau d’illumination (9) sur lesdits moyens de modulation optique matriciels (30) en réflexion ; - une lentille de Schlieren (20) pour obtenir un codage angle-intensité dudit motif (7) sur l’échantillon (2) ; - des moyens d'imagerie (40) et de détection (50) pour détecter une image dudit échantillon (2).

公开(公告)号：ES2447545T3

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：ES08852427

申请日：2008-11-06

Applicant: LAMBDA X

Inventor： BEGHUIN DIDIER ,  JOANNES LUC

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/25 ,  G01M11/02

Abstract: Un método de deflectometría para la inspección óptica de un objeto de fase y amplitud (2) colocado en uncamino óptico entre una única retícula (3) y un sistema de imágenes (4), dicho objeto de fase y amplitud (2) que estáa una distancia h de la retícula (3) en una primera posición, la retícula (3) que forma un patrón periódico basado encontraste con: las frecuencias espacialesm 0, v0, respectivamente, en los ejes ortogonales x, y en un plano deimagen, el sistema de imágenes (4) que comprende un objetivo (5) y un sensor de imágenes (6) que tiene unapluralidad de elementos fotosensibles, en donde dichas frecuencias espaciales m 0, v0 no son mayores que la mitadde las frecuencias de muestreo respectivas del sistema de imágenes (4) en dichos ejes x, y, el método quecomprende los pasos de: a) capturar, a través del objetivo (5) con el sensor de imágenes (6), una imagen (601) de dicho patrón periódicobasado en contraste distorsionado por el objeto de fase y amplitud (2); b) calcular una transformada de Fourier de dicha imagen (601) en un dominio de frecuencia espacial, dichatransformada de Fourier de dicha imagen que comprende un espectro de orden cero (701) y al menos dosespectros de primer orden o superior (702) desplazados en el dominio de frecuencia con respecto al espectro deorden cero (701) por dichas frecuencias espaciales m 0, v0 de dicho patrón periódico basado en contraste en losejes x e y en el plano de imagen; c) seleccionar al menos uno de dicho espectro de primer orden o superior (702) de dicha transformada de Fouriery desplazarlo en dicho dominio de frecuencia a fin de colocarlo sustancialmente en una frecuencia central dedicha transformada de Fourier; d) llevar a cabo una transformada inversa de Fourier de dicho al menos un espectro de primer orden o superior(702) de dicha transformada de Fourier a fin de obtener una función compleja , en donde I(x,y) es una intensidad y j (x,y) una fase enlazada a los ángulos de deflexión óptica q x,q y en, respectivamente, las direcciones de los ejes x e y, según la siguiente fórmula: j (x,y) >= -2p h(m 0 tangq x + v0tanq y); y e) desenvolver dicha fase; caracterizado porque el método además comprende los pasos de: f) repetir los pasos a) a e) para una segunda posición de la retícula (3) con respecto al objeto de fase y amplitud(2) donde la diferencia de distancia entre la primera posición y la segunda posición es D h; y g) determinar una diferencia de fase a partir de la fase determinada en cada una de las primera y segundaposiciones.

公开(公告)号：CA2706042A1

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：CA2706042

申请日：2008-11-06

Applicant: LAMBDA X

Inventor： BEGHUIN DIDIER ,  JOANNES LUC

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/25 ,  G01M11/02

Abstract: The present invention relates to a Fourier transform deflectometry system (1) and method for the optical inspection of a phase and amplitude object (2) placed in an optical path between a grating (3) and an imaging system (4), at a distance h of said grating 3. The grating (3) forms a contrast-based periodic pattern with spatial frequencies µ0, v0 in, respectively, orthogonal axes x,y in an image plane, and the imaging system (4) comprises an objective (5) and an imaging sensor (6) comprising a plurality of photosensitive elements. Spatial frequencies µ0, v0 are equal or lower than the Nyquist frequencies of the imaging system in the respective x and y axes. According to the method of the invention, a first image of said pattern, distorted by the phase and amplitude object (2), is first captured through the objective (5) by the imaging sensor (6). Then, a Fourier transform of said first image in a spatial frequency domain is calculated, at least one first- or higher-order spectrum of said Fourier transform is selected and shifted in said frequency domain, so as to substantially place it at a central frequency of said Fourier transform, and a reverse Fourier transform of said at least one shifted first- or higher-order spectrum of said Fourier transform is performed so as to obtain a complex function g(x,y)=l(x,y)eif(x,y), wherein l(x,y) is an intensity and f(x,y) a phase linked to optical deflection angles ?x, ?y in, respectively, the directions of the x and y axes, in the following form: f(x,y)=- 2tth(µ0tan?x+v0tan?y).