Einrichtung und Verfahren zur mikroskopischen Bildaufnahme einer Probenstruktur

    公开(公告)号:DE102010036709A1

    公开(公告)日:2012-02-02

    申请号:DE102010036709

    申请日:2010-07-28

    Abstract: Beschrieben sind eine Einrichtung und ein Verfahren zur mikroskopischen Bildaufnahme einer Probenstruktur. Vorgehesen sind eine Optik (30, 38, 54, 56, 58) zum Abbilden der Probenstruktur (34) und eine Referenzstruktur (50) sowie eine Drifterfassungseinheit (42, 52) zum Erfassen einer Drift der Probenstruktur (34) relativ zur Optik (30, 38, 54, 56, 58) anhand der abgebildeten Referenzstruktur. Die Optik (30, 38, 54, 56, 58) weist eine erste Schärfenebene (46) zum Abbilden der Probenstruktur (34) und zugleich eine relativ zur ersten Schärfenebene (46) lageveränderbare zweite Schärfenebene (60) zum Abbilden der Referenzstruktur (50) auf.

    Verfahren und Einrichtung zur mikroskopischen Bildaufnahme einer Probenstruktur

    公开(公告)号:DE102011001091A1

    公开(公告)日:2012-04-19

    申请号:DE102011001091

    申请日:2011-03-04

    Abstract: Beschrieben sind ein Verfahren und eine Einrichtung zur lichtmikroskopischen Abbildung einer Probenstruktur (34). Es wird die Probenstruktur (34) mit Markern präpariert, die in einen lichtmikroskopisch abbildbaren Zustand überführbar sind, eine aktive Marker-Teilmenge erzeugt, indem ein Teil der Marker in den lichtmikroskopisch abbildbaren Zustand überführt wird, und bei Vorliegen eines vorbestimmten Aktivierungszustands, in dem die in der aktiven Marker-Teilmenge enthaltenen Marker einen mittleren Abstand voneinander haben, der größer als ein durch die Auflösungsgrenze der lichtmikroskopischen Abbildung vorbestimmter Minimalabstand ist, die Probenstruktur (34) auf eine Anordnung (40) von Sensorelementen abgebildet, die jeweils ein Bildsignal erzeugen, wobei diese Bildsignale in ihrer Gesamtheit ein Einzelbild der Probenstruktur (34) ergeben. Ferner wird das Vorliegen des vorbestimmten Aktivierungszustands geprüft, indem in einem zeitlichen Abstand mindestens zwei Prüfeinzelbilder erzeugt werden, und zumindest für einen Teil der Sensorelemente jeweils die Änderung des Bildsignals zwischen den beiden Prüfeinzelbildern erfasst wird. Das Vorliegen des vorbestimmten Aktivierungszustands wird festgestellt, wenn die erfassten Änderungen der Bildsignale in ihrer Gesamtheit eine vorbestimmte Größe übersteigen.

Patent Agency Ranking