公开(公告)号：DE102014101762B4

公开(公告)日：2021-12-23

申请号：DE102014101762

申请日：2014-02-12

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： SCHUMANN CHRISTIAN ,  MÜLTER ANDREA

IPC: G02B21/00 ,  G02B7/09 ,  G02B21/24

Abstract: Verfahren zum mikroskopischen Abbilden einer Volumenprobe (16), bei demein Mikroskopobjektiv (12) nacheinander auf mindestens zwei Referenzebenen fokussiert wird, die sich innerhalb der Volumenprobe (16) längs der optischen Achse (O) des Mikroskopobjektivs (12) in unterschiedlichen Volumenprobentiefen befinden;für jede Referenzebene eine Referenzeinstellung eines Korrektionsgliedes (18) ermittelt wird, bei der ein von der Volumenprobentiefe abhängiger Abbildungsfehler durch das Korrektionsglied (18) korrigiert ist;auf Grundlage der ermittelten Referenzeinstellungen für mindestens eine Zielebene in der Volumenprobe (16) eine Zieleinstellung für das Korrektionsglied (18) bestimmt wird, in welcher der in der Volumenprobentiefe der Zielebene auftretende Abbildungsfehler durch das Korrektionsglied (18) korrigiert ist; undzum Abbilden der Volumenprobe (16) das Mikroskopobjektiv (12) auf die Zielebene fokussiert und das Korrektionsglied (18) in die Zieleinstellung gebracht wird,wobei für jede Referenzebene eine durch das Korrektionsglied (18) in der jeweiligen Referenzeinstellung verursachte Abweichung der Objektschnittweite des Mikroskopobjektivs (12) gegenüber einer Sollschnittweite als Referenzschnittweitenabweichung ermittelt wird,auf Grundlage dieser Referenzschnittweitenabweichungen für die Zielebene eine Zielschnittweitenabweichung bestimmt wird, welche die durch das Korrektionsglied (18) in der Zieleinstellung verursachte Abweichung der Objektschnittweite gegenüber der Sollschnittweite angibt; unddas Mikroskopobjektiv (12) unter Berücksichtigung der Zielschnittweitenabweichung auf die Zielebene fokussiert wird.

公开(公告)号：DE102014101762A1

公开(公告)日：2015-08-13

申请号：DE102014101762

申请日：2014-02-12

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： SCHUMANN CHRISTIAN ,  MÜLTER ANDREA

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/24

Abstract: Beschrieben ist ein Verfahren zum mikroskopischen Abbilden einer Volumenprobe (16), bei dem ein Mikroskopobjektiv (12) nacheinander auf mindestens zwei Referenzebenen fokussiert wird, die sich innerhalb der Volumenprobe (16) längs der optischen Achse (O) des Mikroskopobjektivs (12) in unterschiedlichen Volumenprobentiefen befinden; für jede Referenzebene eine Referenzeinstellung eines Korrektionsgliedes (18) ermittelt wird, bei der ein von der Volumenprobentiefe abhängiger Abbildungsfehler durch das Korrektionsglied (18) korrigiert ist; auf Grundlage der ermittelten Referenzeinstellungen für mindestens eine Zielebene in der Volumenprobe eine Zieleinstellung für das Korrektionsglied (18) bestimmt wird, in welcher der in der Volumenprobentiefe der Zielebene auftretende Abbildungsfehler durch das Korrektionsglied (18) korrigiert ist; und zum Abbilden der Volumenprobe (16) das Mikroskopobjektiv (12) auf die Zielebene fokussiert und das Korrektionsglied (18) in die Zieleinstellung gebracht wird.