公开(公告)号：WO2013131719A8

公开(公告)日：2014-10-23

申请号：PCT/EP2013052682

申请日：2013-02-11

Applicant: LEMOPTIX SA

Inventor： KHECHANA FAOUZI ,  ABELÉ NICOLAS

IPC: H05K1/02 ,  G02B26/08 ,  H05K1/11 ,  H05K1/18

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/042 ,  B81B2207/098 ,  B81C1/00214 ,  B81C1/00873 ,  B81C3/005 ,  B81C2203/054 ,  B81C2203/057 ,  G02B7/1821 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/105 ,  G03B21/008 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/1461 ,  H05K1/0269 ,  H05K1/0281 ,  H05K1/118 ,  H05K1/189 ,  H05K3/328 ,  H05K3/34 ,  H05K2201/083 ,  H05K2201/10083 ,  H05K2203/049 ,  Y10T29/4913 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: A MEMS micro-mirror assembly (250, 300, 270, 400) comprising, a MEMS device (240) which comprises a MEMS die (241) and a magnet (231); a flexible PCB board (205) to which the MEMS device (240) is mechanically, and electrically, connected; wherein the flexible PCB board (205) further comprises a first extension portion (205b) which comprises a least one electrical contact (259a,b) which is useable to electrically connect the MEMS micro-mirro rassembly (250, 300, 270, 400) to another electrical component). There is further provided a projection system comprising such a MEMS micro-mirror assembly (250, 300, 270, 400).

Abstract translation: 包括MEMS器件（240）的MEMS微反射镜组件（250,3300,270,400），其包括MEMS管芯（241）和磁体（231）; MEMS器件（240）机械地并电连接到的柔性PCB板（205）; 其中所述柔性PCB板还包括第一延伸部分（205b），所述第一延伸部分包括至少一个电触头（259a，b），所述电触头可用于电连接所述MEMS微镜组件（250,300,270,400） 到另一个电气部件）。 还提供了一种包括这种MEMS微镜组件（250,300,270,400）的投影系统。