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公开(公告)号：CN101221357A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200710196558.1
申请日：2007-11-29
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027 , H01L27/12 , H01L21/84 , G02F1/1362
CPC classification number: G02F1/1333 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/0007
Abstract: 本发明公开了一种用于制造薄膜图案的设备以及应用这种设备制造薄膜图案的方法，由于工艺偏差是最小化的，因此可形成可靠的薄膜图案。用于制造薄膜图案的该设备包括：涂覆设备，用于在薄膜形成于其上的基板上涂上蚀刻抗蚀剂溶液；具有凹面和凸面的软模具，对蚀刻抗蚀剂加压以形成具有对应凹面形状的蚀刻抗蚀剂图案；以及硬化设备，用于硬化蚀刻抗蚀剂溶液，其中提供的软模具的凸面在其末端具有狭窄区域。
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公开(公告)号：CN101097403A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200710126891.5
申请日：2007-06-29
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
CPC classification number: B29C33/40 , B29C33/3857 , B29L2031/3475 , G02F1/1303 , G02F1/13394 , G03F7/0007 , G03F7/0017 , Y10T428/10 , Y10T428/1005
Abstract: 本发明提供软模用抗蚀剂和使用其制造液晶显示器的方法。本发明提供用于软光刻的软模抗蚀剂、制造软模的方法、以及使用软模来制造液晶显示装置的方法，其中，所述软模包括亲水液态预聚物、光引发剂以及表面活性剂。通过将软模抗蚀剂涂覆到底板或模板并且将预定图案从模板转印到软模抗蚀剂，从而形成软模。通过将软模施加于覆盖在薄膜上的刻蚀抗蚀剂层、并且将预定图案转印到刻蚀抗蚀剂、接着使用该刻蚀抗蚀剂作为掩模对薄膜进行刻蚀，从而形成显示器。执行附加的工艺步骤，以形成液晶显示装置。
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公开(公告)号：CN101226331A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200710302367.9
申请日：2007-12-25
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/028 , G02F1/1335 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种UV固化液体预聚物和一种制造LCD器件的方法，其中所述UV固化液体预聚物通过改变涂覆层的成分或通过改变除涂覆层以外的柱状衬垫料的成分来改善热稳定性。所述UV固化液体预聚物包括单功能单体30～60vol％、双功能单体20～50vol％、三功能单体10～20vol％和光引发剂。
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公开(公告)号：CN101097851A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200610167086.2
申请日：2006-12-14
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/3105 , G02F1/1333
Abstract: 本发明涉及具有平坦层的基板的制造方法。用于液晶显示装置的滤色器基板的制造方法包括以下步骤：在基板上的滤色器区中形成红色滤色器、绿色滤色器以及蓝色滤色器；在所述红色滤色器、绿色滤色器以及蓝色滤色器上形成外敷层；在所述外敷层上设置模子；通过所述模子在所述外敷层上执行第一固化处理；从所述外敷层去除所述模子；以及在去除所述模子之后，在所述外敷层上执行第二固化处理。
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公开(公告)号：CN101097400A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200710104859.7
申请日：2007-05-23
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/00 , G03F7/004 , G03F7/028 , H01L21/027 , H01L21/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10S430/114 , Y10T428/10 , Y10T428/1005
Abstract: 本发明涉及软模具及其制造方法。该软模具包括：可光固化材料；和光引发剂，其中，所述软模具满足公式，其中，γdM是所述软模具的表面能的分散项，γpM是所述软模具的表面能的极性项，而γL是去离子水的表面能。
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