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公开(公告)号:CN101097399A
公开(公告)日:2008-01-02
申请号:CN200610161878.9
申请日:2006-12-05
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0017 , B29C33/3857 , B29C33/40 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明公开了一种通过容易地改变模具的表面能制造具有所需表面特性的模具的方法。该方法包括:在形成有第一图案的主基板和透明模具基板之间形成光可聚合树脂层;通过将所述树脂层曝光于透过所述透明模具基板的UV光而硬化该树脂层;以及通过在树脂层与模具基板结合的情况下将该已聚合的树脂层与所述主基板分离,形成具有凹陷形式的第二图案的模具,该凹陷是通过转印所述第一图案得到的。