公开(公告)号：CN1991589A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：CN200610087172.2

申请日：2006-06-15

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 蔡基成 ,  曹奎哲 ,  金珍郁 ,  李昌熙

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/00

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C43/021 ,  B29L2011/0016 ,  G02F1/13394

Abstract: 一种制造平板显示器件的装置，包括在基板上施加可流动材料的设备；软模，具有底面、相对于底面凹陷的凹槽部分以及从底面突出的突出部分，软模向可流动材料施加压力，在可流动材料中形成多台阶轮廓图案。

公开(公告)号：CN1885168A

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN200510127522.9

申请日：2005-12-05

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 蔡基成 ,  曹奎哲 ,  金珍郁 ,  李昌熙

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C33/38 ,  B29C33/3857 ,  B29C33/40

Abstract: 本发明公开了一种软模及其制造方法。首先形成在基板上具有图案的母模。第一液态高聚物前体形成在母模上并随后被部分固化。具有高UV透射率的支撑膜粘接在部分固化的高聚物上。用连接剂处理粘接的支撑膜和部分固化的高聚物，并且在部分固化的高聚物和支撑膜上形成第二液态高聚物前体。第二液态高聚物前体和部分固化的高聚物被随后固化以形成模。完全固化的模从母模剥离以形成在一个表面上具有预定形状的软模。

公开(公告)号：CN1510169A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN200310118526.1

申请日：2003-12-12

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 金圣秀 ,  崔容硕 ,  曹奎哲 ,  蔡基成 ,  权五南 ,  李坰默 ,  黄龙燮 ,  李承庸

IPC: C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  H01L21/28 ,  H01L21/306 ,  H01L21/44 ,  H01L21/465

CPC classification number: C09K13/08 ,  C23F1/18 ,  C23F1/26 ,  H01L21/32134

Abstract: 一种用于多层铜和钼的蚀刻溶液，包含：约5％重量至约30％重量的过氧化氢；约0.5％重量至约5％重量的有机酸；约0.2％重量至约5％重量的磷酸盐；约0.2％重量至约5％重量的含氮的第一添加剂；约0.2％重量至约5％重量的含氮的第二添加剂；约0.01％重量至约1.0％重量的含氟化合物；以及使蚀刻溶液的总量为100％的去离子水。