公开(公告)号：CN1638029A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410102563.8

申请日：2004-12-24

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓 ,  金荣柱

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/20 ,  H01L21/477 ,  B23K26/00 ,  G02F1/35

CPC classification number: H01L21/0268 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0823 ,  B23K26/0853 ,  B23K37/0461 ,  C30B11/005 ,  C30B29/06 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/68

Abstract: 一种新颖的硅结晶设备和硅结晶方法，其可以无需额外的光刻而形成对准标记，并且可以在装载基板的时候通过检测所述基板的偏差来将其调整到正确的位置。所述硅结晶设备包括可以在水平方向内移动的移动台，以及设置在所述移动台上用于固定基板的固定板。移动台上设有旋转固定板的旋转框。

公开(公告)号：CN100338521C

公开(公告)日：2007-09-19

申请号：CN200410059444.9

申请日：2004-06-28

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L21/0268 ,  B23K26/066 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明披露了一种连续横向固化装置和使用该装置结晶硅的方法，该方法控制相邻照射激光束图案的重叠区的大小和排列，使其处于像素区和像素区以外部分的驱动区的特定区域内。该装置包括用于照射激光束的激光发生装置；用于聚焦激光束的聚焦透镜；具有透明区域图案的掩模，允许激光束透过形成激光束图案；减光透镜，用于减弱该掩模透过的激光束图案；具有暴露于照射激光束图案的像素区和驱动区的基板；上面安装有基板的活动工作台；以及位置传感器，该位置传感器感测照射激光束图案的位置，并控制相邻照射激光束图案之间的重叠区的尺寸和排列。

公开(公告)号：CN100385326C

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：CN200410081682.X

申请日：2004-12-24

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: G02F1/136 ,  H01L29/786 ,  H01L21/20 ,  C30B13/00

CPC classification number: H01L21/0268 ,  B23K26/066 ,  C30B13/24 ,  C30B29/06 ,  H01L21/2026 ,  H01L29/6675 ,  H01L29/78672 ,  Y10T117/10

Abstract: 一种硅结晶设备，包括：激光束源，用于发射激光束；投射单元，用于会聚并改变来自所述激光束源的激光束图案；装/卸基板的载台；反射镜，用于将来自所述投射单元的激光束偏转到基板之外；以及冷却装置，用于接收被所述反射镜偏转的激光束，并散发由所接收的激光束产生的热量。从而在基板装载完成之前预热投射镜，或在基板结晶之后截断照射到基板上的激光束。

公开(公告)号：CN1576967A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410048332.3

申请日：2004-06-17

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: G02F1/133

CPC classification number: C30B13/24 ,  B23K26/066 ,  B23K26/16

Abstract: 本发明公开了一种连续横向固化装置，该装置能增强自身的光学特性并且防止因结晶薄膜的消融引起的破损。该装置包括：一产生激光束的激光源；一投影透镜，它将从激光源产生的激光束聚焦在一基板上；一激光束分束器，它在投影透镜与该基板之间，用来透过从激光源产生的激光束以照射基板并且阻挡从该基板朝向投影透镜反射回来的激光束；和一工作台，在它上面安装有该基板。

公开(公告)号：CN100372058C

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200410095527.3

申请日：2004-11-29

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/20 ,  G02F1/136 ,  G02F1/35 ,  B23K26/00

CPC classification number: H01L21/0268 ,  B23K26/066 ,  G03F1/50 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明涉及一种激光束图案掩模，包括至少一个或多个透射部分，每个透射部分具有中央部分和设在所述中央部分两侧的一对边缘部分，所述每个边缘部分具有基本上呈三角形的形状，该三角形形状由位于所述中央部分与相应边缘部分之间的虚拟边界线、和从该边界线的上端以锐角延伸的上外侧以及从该边界线的下端以锐角延伸的下外侧所确定，所述下外侧与所述上外侧相交而形成角，所述角被设计为圆角，其中所述透射部分具有的中央部分的宽度为“y”，长度为“m”，其中一个边缘部分的长度为“x”，且以y≤x≤m/2为前提条件。

公开(公告)号：CN1277155C

公开(公告)日：2006-09-27

申请号：CN03137474.3

申请日：2003-06-25

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/00 ,  G02F1/1333

CPC classification number: B23K26/0661 ,  B23K26/066 ,  C30B1/023 ,  C30B13/22 ,  C30B28/02 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0268 ,  H01L21/02691 ,  Y10S438/942 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008 ,  Y10T117/1012

Abstract: 一种用于形成多晶硅层的方法，包括：在非晶硅层上设置一掩模，所述的掩模具有多个透射区，多个透射区沿着第一方向和基本上与第一方向垂直的第二方向以阶梯排列的方式相互间隔设置，每一个透射区有一中央部分和第一侧部分与第二侧部分，第一侧部分和第二侧部分在第一方向上与中央部分的相对的两端相邻，其中每一部分在第一方向上有一长度而在第二方向上有一宽度，并且其中第一部分和第二部分的宽度沿着第一方向从中央部分开始向外减小；第一次通过掩模将一激光束照射到非晶硅层上，形成与多个透射区对应的多个第一照射区，每一个第一照射区有一中央部分以及在中央部分两侧的第一侧部分和第二侧部分；将衬底和掩模彼此相对移动，以使每一个透射区的第一侧部分与每一个第一照射区的中央部分重叠；通过掩模第二次将激光束照射到非晶硅层上，形成与多个透射区对应的多个第二照射区。

公开(公告)号：CN1252796C

公开(公告)日：2006-04-19

申请号：CN02122042.5

申请日：2002-05-28

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/0268 ,  C30B1/023 ,  C30B13/22 ,  C30B13/32 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02595 ,  H01L21/2026

Abstract: 一种按序横向固化掩膜，包括具有由第一狭缝分开的多个第一条的第一区。该掩膜还包括具有由第二狭缝分开的多个第二条的第二区。该第二条与第一条垂直。还包括具有由第三狭缝分开的多个第三条的第三区，其中第三条相对第一条横向设置。第四区，具有多个第四条和第四条之间的多个第四狭缝，其中第四条相对于第二条横向设置，第一区、第二区、第三区和第四区排成一行，并且第三条与第一狭缝相对应，第四条与第二狭缝相对应。采用该掩膜经多次移动掩膜并多次重叠辐射而进行按序横向固化。

公开(公告)号：CN1638038A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410095527.3

申请日：2004-11-29

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/20 ,  G02F1/136 ,  G02F1/35 ,  B23K26/00

CPC classification number: H01L21/0268 ,  B23K26/066 ,  G03F1/50 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明涉及一种激光束图案掩模，包括至少一个或多个透射部分，每个透射部分具有中央部分和设在所述中央部分两侧的一对边缘部分，所述每个边缘部分具有基本上呈三角形的形状，该三角形形状由位于所述中央部分与相应边缘部分之间的虚拟边界线、和从该边界线的上端以锐角延伸的上外侧以及从该边界线的下端以锐角延伸并与所述上外侧在圆角拐角处相交的下外侧所确定。

公开(公告)号：CN1598676A

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：CN200410059444.9

申请日：2004-06-28

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L21/0268 ,  B23K26/066 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明披露了一种连续横向固化装置和使用该装置结晶硅的方法，该方法控制相邻照射激光束图案的重叠区的大小和排列，使其处于像素区和像素区以外部分的驱动区的特定区域内。该装置包括用于照射激光束的激光发生装置；用于聚焦激光束的聚焦透镜；具有透明区域图案的掩模，允许激光束透过形成激光束图案；减光透镜，用于减弱该掩模透过的激光束图案；具有暴露于照射激光束图案的像素区和驱动区的基板；上面安装有基板的活动工作台；以及位置传感器，该位置传感器感测照射激光束图案的位置，并控制相邻照射激光束图案之间的重叠区的尺寸和排列。

公开(公告)号：CN1314995C

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200410048332.3

申请日：2004-06-17

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 郑允皓

IPC: G02F1/133

CPC classification number: C30B13/24 ,  B23K26/066 ,  B23K26/16

Abstract: 本发明公开了一种用于制造液晶显示装置的连续横向固化装置，该装置能增强自身的光学特性并且防止因结晶薄膜的消融引起的破损。该装置包括：一产生激光束的激光源；一投影透镜，它将从激光源产生的激光束聚焦在其上形成有硅层的一基板上；一激光束分束器，它在投影透镜与该基板之间，用来透过从激光源产生的激光束以照射要进行结晶的硅层、阻挡从该基板朝向投影透镜反射回来的激光束，以及用作防止薄硅层消融的主要保护层；和一工作台，在它上面安装有该基板。