公开(公告)号：US3400354A

公开(公告)日：1968-09-03

申请号：US60427866

申请日：1966-12-23

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： TATSUO KAWASAKI ,  HIROMASA HASEGAWA

IPC: G01R33/07

CPC classification number: G01R33/07

公开(公告)号：CH516872A

公开(公告)日：1971-12-15

申请号：CH1843369

申请日：1969-12-10

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： GOTA KANO ,  MASAMI YOKOZAWA ,  TATSUO KAWASAKI ,  SHOHEI FUJIWARA ,  HIROMASA HASEGAWA

IPC: G01L1/18 ,  H01L21/00 ,  H01L29/00 ,  H01L29/84 ,  H01L9/12