公开(公告)号：CN109477790B

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN201780043623.9

申请日：2017-07-25

Applicant: MKS仪器公司

Inventor： P·泽梅克 ,  R·M·卡兰杰洛 ,  叶宏柯 ,  A·赖特

IPC: G01N21/31 ,  G01N21/01 ,  G01N1/24

Abstract: 本文中呈现用于将天然气管路中的例如H2S或H2O等痕量级及/或超痕量级的物质量化的系统及方法。所述系统及方法采用可调谐激光器，例如可调谐二极管激光器、垂直腔面发射激光器VCSEL、外部腔二极管激光器或垂直外部腔面发射激光器VECSEL或者可调谐量子级联激光器QCL。所述激光器以从约0.1Hz到约1000Hz的扫描频度产生在一组一或多个相对狭窄的高分辨率波长频带内的输出束。包括痕量级所关注物质的天然气样本通过流动池，来自所述激光器的所述输出束被引导到所述流动池中。光学检测器从所述流动池接收光，产生指示吸收衰减的信号，依据所述信号确定所述痕量物质的浓度。

公开(公告)号：CN109477790A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201780043623.9

申请日：2017-07-25

Applicant: MKS仪器公司

Inventor： P·泽梅克 ,  R·M·卡兰杰洛 ,  叶宏柯 ,  A·赖特

IPC: G01N21/31 ,  G01N21/01 ,  G01N1/24

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01N21/01 ,  G01N21/255 ,  G01N21/3504 ,  G01N33/0044 ,  G01N2021/0193 ,  G01N2021/399 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/129

Abstract: 本文中呈现用于将天然气管路中的例如H2S或H2O等痕量级及/或超痕量级的物质量化的系统及方法。所述系统及方法采用可调谐激光器，例如可调谐二极管激光器、垂直腔面发射激光器VCSEL、外部腔二极管激光器或垂直外部腔面发射激光器VECSEL或者可调谐量子级联激光器QCL。所述激光器以从约0.1Hz到约1000Hz的扫描频度产生在一组一或多个相对狭窄的高分辨率波长频带内的输出束。包括痕量级所关注物质的天然气样本通过流动池，来自所述激光器的所述输出束被引导到所述流动池中。光学检测器从所述流动池接收光，产生指示吸收衰减的信号，依据所述信号确定所述痕量物质的浓度。