公开(公告)号：CN101971169A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200880123056.9

申请日：2008-12-19

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·B·沃尔德 ,  J·特里格 ,  L·埃里克松

IPC: G06F17/18 ,  G06K9/62

CPC classification number: G06F17/18 ,  G06K9/6219 ,  G06K9/6247

Abstract: 一种在相对短的处理时间内分割(分集)大量数据的系统和方法。该方法包括提供第一数据矩阵和第二数据矩阵，其中第一和第二数据矩阵中的每一个包括一个或多个变量以及多个数据点。该方法还包括使用偏最小二乘(PLS)分析或正交PLS(OPLS)分析从第一数据矩阵确定第一得分，并基于分类的第一得分、第一数据矩阵的方差以及第一和第二组的方差相对于第一和第二数据矩阵的方差的关系将第一和第二数据矩阵(逐行地)分割成第一组和第二组。

公开(公告)号：CN103210301B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201180054345.X

申请日：2011-09-08

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： H·谭 ,  S·B·沃尔德

IPC: G01N21/3504 ,  G01J3/28 ,  G01N21/3577 ,  G01N21/359 ,  G06F19/00

CPC classification number: G01N21/359 ,  G01J3/28 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3577 ,  G01N2201/129 ,  G06F19/703

Abstract: 所描述的是用于监测、检测、和量化样本中的化学化合物的基于计算机的方法和装置，包括计算机程序产品。接收包括数字化光谱分布的样本测量。计算多元多级背景模型，包括建模第一时间效应的第一模型、建模不同于第一时间效应的第二时间效应的第二模型，或两者。基于样本测量和多元多级背景模型生成背景经修正的样本测量。执行多元多级库搜索、错误检测、和量化算法来标识背景经修正的样本测量中的一种或多种主要化学物质。搜索、检测、和量化算法包括基于多元统计过程控制标识背景经修正的样本中的一种或多种候选化学物质、以及基于一种或多种候选化学物质的集中化学评估来标识并量化第一主要化学物质。

公开(公告)号：CN103210301A

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201180054345.X

申请日：2011-09-08

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： H·谭 ,  S·B·沃尔德

IPC: G01N21/35

CPC classification number: G01N21/359 ,  G01J3/28 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3577 ,  G01N2201/129 ,  G06F19/703

Abstract: 所描述的是用于监测、检测、和量化样本中的化学化合物的基于计算机的方法和装置，包括计算机程序产品。接收包括数字化光谱分布的样本测量。计算多元多级背景模型，包括建模第一时间效应的第一模型、建模不同于第一时间效应的第二时间效应的第二模型，或两者。基于样本测量和多元多级背景模型生成背景经修正的样本测量。执行多元多级库搜索、错误检测、和量化算法来标识背景经修正的样本测量中的一种或多种主要化学物质。搜索、检测、和量化算法包括基于多元统计过程控制标识背景经修正的样本中的一种或多种候选化学物质、以及基于一种或多种候选化学物质的集中化学评估来标识并量化第一主要化学物质。

公开(公告)号：CN102301289A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201080005351.1

申请日：2010-01-20

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： C·P·麦克里迪 ,  S·B·沃尔德

IPC: G05B13/04

CPC classification number: G05B13/048 ,  G05B2219/42061

Abstract: 描述了一种用多变量模型控制制造工艺(批量型或连续型)的方法、控制器和系统。接收因变量数据和操纵变量数据。因变量数据表示来自多个传感器的非受控工艺参数的值。操纵变量数据表示多个处理工具的可控工艺参数的受控值或设定点值。基于所接收的数据来确定预测操作值、多变量统计数据、或二者，并且基于预测分数、多变量统计数据、或二者来确定制造工艺的操作参数。