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公开(公告)号：CN102388467A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201080012883.8
申请日：2010-03-15
Applicant: OC欧瑞康巴尔斯公司
IPC: H01L31/18
CPC classification number: H01L31/18 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67201 , H01L21/67207
Abstract: 通过相应地将处理步骤再分成在串联式接续处理站中执行的子步骤来使通过串联式技术制造薄膜太阳能板的生产量与不同的表面处理步骤的时间长度基本上无关。接续处理站的每个处理站中的处理持续时间相等(τ)。
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