Abstract:
Es wird ein Halbleiterbauelement mit einer Halbleiterschichtenfolge (2) aus einem nitridischen Verbindungshalbleitermaterial auf einem Substrat (1) angegeben, wobei das Substrat (1) eine der Halbleiterschichtenfolge (2) zugewandte Silizium-Oberfläche aufweist und die Halbleiterschichtenfolge (2) einen aktiven Bereich (21) und zwischen dem Substrat (1) und dem aktiven Bereich (21) zumindest eine Zwischenschicht (3) aus einem sauerstoffdotierten AlN-Verbindungshalbleitermaterial aufweist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements angegeben.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Leuchtdiode mit den folgenden Schritten angegeben: Bereitstellen eines Trägersubstrats (10), das eine Silizium-Oberfläche (10a) aufweist, epitaktisches Abscheiden einer aluminiumhaltigen Nitrid-Schichtenfolge (20) auf der Silizium-Oberfläche (10a) des Trägersubstrats (10) zur Bildung eines Leuchtdiodenträgers (100), Bereitstellen einer Leuchtdioden-Struktur (300) auf einem Aufwachsträger (200), Verbinden der dem Aufwachsträger (200) abgewandten Oberfläche der Leuchtdioden-Struktur (300) mit der dem Trägersubstrat (10) abgewandten Oberfläche des Leuchtdiodenträgers (100), Ablösen des Aufwachsträgers (200), Herstellen zumindest eines p-Kontaktes (62) und eines n-Kontaktes (61) zum Kontaktieren der Leuchtdioden-Struktur (300) von der dem Trägersubstrat (10) abgewandten Oberfläche der Leuchtdioden-Struktur (300) her.
Abstract:
Es wird ein optoelektronischer Halbleiterchip mit einer aktiven Zone (20) angegeben, die eine zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung vorgesehenen Mehrfachquantentopfstruktur enthält, welche eine Mehrzahl von aufeinander folgenden Quantentopfschichten (210, 220, 230) aufweist. Die Mehrfachquantentopfstruktur weist mindestens eine erste Quantentopfschicht (210) auf, die n-leitend dotiert ist und die zwischen zwei an die erste Quantentopfschicht angrenzenden, n-leitend dotierten Barriereschichten (250) angeordnet ist. Sie weist eine zweite Quantentopfschicht (220) auf, die undotiert ist und zwischen zwei an die zweite Quantentopfschicht angrenzenden Barriereschichten (250, 260) angeordnet ist, von denen eine n-leitend dotiert und die andere undotiert ist. Zudem weist die Mehrfachquantentopfstruktur mindestens eine dritte Quantentopfschicht (230) auf, die undotiert ist und die zwischen zwei an die dritte Quantentopfschicht angrenzenden, undotierten Barriereschichten (260) angeordnet ist.
Abstract:
Es wird ein Bauteilverbund (100) mit einem Hilfsträger (90), einer Mehrzahl von Bauteilen (10), einer Haltestruktur (7, 70) und einer elektrisch leitfähigen Opferschicht (6) angegeben, wobei die Bauteile jeweils eine der Opferschicht zugewandte Anschlussschicht (4) aufweisen, die mit der Opferschicht elektrisch leitend verbunden ist. Die Opferschicht befindet sich in vertikaler Richtung zwischen dem Hilfsträger und den Bauteilen, wobei die Opferschicht entfernbar ausgeführt ist und die Bauteile (10) außer über die Opferschicht (4) nur noch über die Haltestruktur (7, 70) mit dem Hilfsträger (90) mechanisch verbunden sind. Des Weiteren werden ein Verfahren zum Proben sowie ein Verfahren zum Herstellen von Bauteilen angegeben.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Nitrid-Verbindungshalbleiter-Bauelements angegeben, bei dem eine Pufferschicht (2) aus einem Aluminium enthaltenden Nitrid-Verbindungshalbleiter auf die Siliziumoberfläche eines Aufwachssubstrats (1) aufgewachsen wird. Nachfolgend werden eine Verspannungsschichtstruktur (11) zur Erzeugung einer kompressiven Spannung und eine funktionelle Halbleiterschichtenfolge (12), welche eine aktive Schicht (9) aufweist, aufgewachsen. Die Verspannungsschichtstruktur (11) umfasst eine erste GaN- Halbleiterschicht (4) und eine zweite GaN-Halbleiterschicht (7), wobei in die erste GaN-Halbleiterschicht (4) eine Maskierungsschicht (5) eingebettet ist, zwischen der ersten GaN-Halbleiterschicht (4) und der zweiten GaN- Halbleiterschicht (7) eine AI (Ga) N-Zwischenschicht (6) zur Erzeugung einer kompressiven Spannung angeordnet ist, und die Verspannungsschichtstruktur (11) keine weiteren Al(Ga)N- Zwischenschichten (6) enthält.
Abstract:
Es wird ein Strahlungsdetektor (1) mit einer Detektoranordnung (2), die eine Mehrzahl von Detektorelementen (4, 5, 6) aufweist, mittels derer im Betrieb des Strahlungsdetektors ein Detektorsignal (DS) erhalten wird, und mit einer Regelungsvorrichtung (3) angegeben, wobei die Detektorelemente jeweils eine spektrale Empfindlichkeitsverteilung (400, 500, 600) aufweisen und zur Signalerzeugung (S4, S5, S6) geeignet sind, zumindest ein Detektorelement ein Verbindungshalbleitermaterial enthält und dieses Detektorelement zur Detektion von Strahlung im sichtbaren Spektralbereich ausgebildet ist, der Strahlungsdetektor derart ausgebildet ist, dass mittels der Empfindlichkeitsverteilungen der Detektorelemente verschiedene spektrale Empfindlichkeitskanäle (420, 520, 620) des Strahlungsdetektors gebildet sind, in den Empfindlichkeitskanälen mittels der Detektorelemente ein dem jeweiligen Empfindlichkeitskanal zugeordnetes Kanalsignal (K4, K5, K6) erzeugt werden kann, und die Regelungsvorrichtung derart ausgebildet ist, dass die Beiträge verschiedener Kanalsignale zum Detektorsignal des Strahlungsdetektors unterschiedlich geregelt sind.
Abstract:
Beschrieben ist eine Mehrfachquantentopfstruktur (1), die mindestens eine erste Quantentopfstruktur (2a) zur Erzeugung von Strahlung einer ersten Wellenlänge (6) und mindestens eine zweite Quantentopfstruktur (2b) zur Erzeugung von Strahlung einer zweiten Wellenlänge (7) umfasst, die größer ist als die erste Wellenlänge (6), und die zur Emission von Strahlung einer Hauptwellenlänge (14) vorgesehen ist, wobei sich die zweite Wellenlänge (7) derart von der ersten Wellenlänge (6) unterscheidet, dass sich die Hauptwellenlänge (14) bei einer Verschiebung der ersten Wellenlänge (6) und der zweiten Wellenlänge (7) nur um einen vorgegebenen Höchstwert ändert. Ferner sind ein strahlungsemittierender Halbleiterkörper und ein strahlungsemittierendes Bauelement beschrieben.
Abstract:
Es wird eine Detektoranordnung (10) mit einer Mehrzahl von diskreten Strahlungsdetektoren (1, 2, 3) vorgeschlagen, wobei ein erster Strahlungsdetektor und ein zweiter Strahlungsdetektor der Detektoranordnung jeweils einen Halbleiterkörper (11, 21, 31) mit einem zum Strahlungsempfang und zur Signalerzeugung vorgesehenen aktiven Bereich (12, 22, 32) und jeweils einen, dem jeweiligen Strahlungsdetektor zugeordneten Detektionsbereich aufweisen, bei der der Halbleiterkörper, insbesondere der aktive Bereich, mindestens eines Strahlungsdetektors ein III-V-Halbleitermaterial enthält und/oder bei der der aktive Bereich des ersten Strahlungsdetektors vom aktiven Bereich des zweiten Strahlungsdetektors verschieden ausgeführt ist. Eine derartige Detektoranordnung ist zur Detektion von Strahlung in verschiedenfarbigen Spektralbereichen besonders geeignet.
Abstract:
Es wird ein strahlungsemittierender Halbleiterkörper (1) mit einer Halbleiterschichtenfolge (2), die einen zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20), eine n- leitende Halbleiterschicht (21) und eine p-leitende Halbleiterschicht (22) aufweist, angegeben, wobei der aktive Bereich zwischen der n-leitenden Halbleiterschicht und der p- leitenden Halbleiterschicht angeordnet ist und die p-leitende Halbleiterschicht einen ersten Dotierbereich (221) mit einem ersten Dotierstoff und einen zweiten Dotierbereich (222) mit einem vom ersten Dotierstoff verschiedenen zweiten Dotierstoff aufweist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterschichtenfolge angegeben.