公开(公告)号：WO1998002715A1

公开(公告)日：1998-01-22

申请号：PCT/US1997012095

申请日：1997-07-11

Applicant: PHASE METRICS

Inventor： PHASE METRICS ,  MACHCHA, Ashok, R. ,  LUE, Kok ,  WOMACK, Kenneth, H. ,  BREZOCZKY, Blasius ,  ABRAHAM, Daniel, L.

IPC: G01B09/02

CPC classification number: G01B11/14

Abstract: A coated transparent interferometric reference (34) for an optical tester (10). In accordance with one aspect of the present invention, the coated reference surface (34) provides improved tribological and optical properties as would be desirable for a disk (16) in an interferometric flying height tester (10).

Abstract translation: 用于光学测试器（10）的经涂覆的透明干涉仪（34）。 根据本发明的一个方面，涂覆的参考表面（34）提供了对于干涉式飞行高度测试仪（10）中的盘（16）所期望的改进的摩擦学和光学性质。