コーティングソース及びその製法
    1.
    发明专利
    コーティングソース及びその製法 有权
    其涂料来源及其制造方法

    公开(公告)号:JP2014237894A

    公开(公告)日:2014-12-18

    申请号:JP2014153044

    申请日:2014-07-28

    Abstract: 【課題】マグネトロンスパッタデポジションで安定したコーティングプロセスが実現される、あるいは、陰極アークデポジションでアーク速度の良好な制御が実現される、物理気相成長法用のコーティングソース及びその製法を提供する。【解決手段】粉末冶金製造プロセスにおいて少なくとも1つの粉末状出発材料から作成された少なくとも1つの構成要素2と、該構成要素内に設けられた少なくとも1つの強磁性領域5a,5bとを有する、物理気相成長法用のコーティングソース1が提供される。少なくとも1つの強磁性領域5a,5bは、少なくとも1つの永久磁石の領域であり、粉末冶金製造プロセスにおいて構成要素2に導入されて構成要素と結合される。【選択図】図2

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于物理气相生长方法的涂料源,其可以在磁控溅射沉积中实现稳定的涂覆工艺或对阴极电弧沉积中的电弧速度的良好控制,以及涂料源的制造方法。 提供了一种用于物理气相生长方法的涂料源1,其具有至少一种在粉末冶金制造工艺中由至少一种粉末型原料制备的组分2,以及至少一个铁磁区域5a和5b,其设置在组分 。 至少一个铁磁区域5a和5b是至少一个永磁体区域,并且在粉末冶金制造过程中被引入到组件2中并与组件组合。

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