公开(公告)号：SG11201500815YA

公开(公告)日：2015-03-30

申请号：SG11201500815Y

申请日：2013-08-05

Applicant: PLANSEE SE ,  VEECO INSTR INC

Inventor： MARTINZ HANS-PETER ,  SULIK MANFRED ,  BOGUSLAVSKIY VADIM

IPC: C23C16/46 ,  H05B3/14 ,  H05B3/24

公开(公告)号：AT12695U1

公开(公告)日：2012-10-15

申请号：AT2032011

申请日：2011-04-08

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： LINKE CHRISTIAN ,  SULIK MANFRED ,  KATHREIN MARTIN

IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

Abstract: Die Erfindung betrifft ein trägerrohrloses Rohrtarget (1) für die Kathodenzerstäubung aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung, das eine zumindest bereichsweise mit einem Kühlmedium in Kontakt stehende Innenoberfläche (3) aufweist, wobei zumindest ein Bereich der Innenoberfläche (3) durch zumindest eine Schutzvorrichtung (4) vom Kühlmedium getrennt ist. Die Schutzvorrichtung (4) kann beispielsweise als Polymerschicht ausgeführt sein. Die Rohrtargets (1) weisen eine ausgezeichnete Langzeitbeständigkeit auf.

公开(公告)号：DE50114832D1

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：DE50114832

申请日：2001-05-14

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： LEICHTFRIED GERHARD DR ,  RETTER BERNHARD ,  SULIK MANFRED

IPC: H01J9/32 ,  H01J9/28 ,  H01J61/36 ,  H01K1/40 ,  H01K3/26

Abstract: Production of an electric lamp having a SiO2 glass bulb and a current feed made from a foil of molybdenum or a doped molybdenum alloy comprises post-treating the foil before squeezing into the glass bulb so that on 5-60 % of the foil surface produce non-connecting island regions of material agglomerates. Preferred Features: The material agglomerates consist of yttrium oxide or yttrium mixed oxide, or titanium or titanium mixed oxide.