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    W-Ni-Sputtertarget
    4.
    发明专利
    W-Ni-Sputtertarget 未知

    公开(公告)号：AT14157U1

    公开(公告)日：2015-05-15

    申请号：AT4562013

    申请日：2013-12-20

    Applicant: PLANSEE SE

    Inventor： SCHERER THOMAS ,  LINKE CHRISTIAN

    IPC: C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G02F1/15

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines W-Ni Sputtertargets sowie dessen Verwendung. Ebenso betrifft die Erfindung ein Sputtertarget enthaltend zwischen 45 und 75wt% W, Rest Ni, sowie übliche Verunreinigungen, welches Ni(W)-Phase, W-Phase sowie keine oder unter 10% intermetallische Phasen enthält.

    ROHRTARGET MIT SCHUTZVORRICHTUNG
    5.
    发明专利
    ROHRTARGET MIT SCHUTZVORRICHTUNG 未知

    公开(公告)号：AT12695U1

    公开(公告)日：2012-10-15

    申请号：AT2032011

    申请日：2011-04-08

    Applicant: PLANSEE SE

    Inventor： LINKE CHRISTIAN ,  SULIK MANFRED ,  KATHREIN MARTIN

    IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein trägerrohrloses Rohrtarget (1) für die Kathodenzerstäubung aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung, das eine zumindest bereichsweise mit einem Kühlmedium in Kontakt stehende Innenoberfläche (3) aufweist, wobei zumindest ein Bereich der Innenoberfläche (3) durch zumindest eine Schutzvorrichtung (4) vom Kühlmedium getrennt ist. Die Schutzvorrichtung (4) kann beispielsweise als Polymerschicht ausgeführt sein. Die Rohrtargets (1) weisen eine ausgezeichnete Langzeitbeständigkeit auf.

    Anschlussstück für Rohrtarget
    6.
    发明专利
    Anschlussstück für Rohrtarget 未知

    公开(公告)号：DE112016002047B4

    公开(公告)日：2020-10-15

    申请号：DE112016002047

    申请日：2016-04-28

    Applicant: PLANSEE SE

    Inventor： DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN

    IPC: H01J37/34

    Abstract: Anschlussstück (6a-c) für ein rohrförmiges Target (1a-c) aufweisend eine zylindrische Innenfläche und eine zylindrische Außenfläche und zumindest einen magnetischen Einsatz (4a-c), dadurch gekennzeichnet, dass die Position des magnetischen Einsatzes (4a-c) entlang der axialen Richtung des Anschlussstücks (6a-c) auf zumindest einer Innen- oder Außenfläche des Anschlussstücks (6a-c) veränderbar ist.

    Rohrtarget
    7.
    发明专利
    Rohrtarget 未知

    公开(公告)号：AT15004U1

    公开(公告)日：2016-10-15

    申请号：AT1092015

    申请日：2015-05-06

    Applicant: PLANSEE SE

    Inventor： DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN

    IPC: H01J37/34

    Abstract: Target (2a) für eine Kathodenzerstäubungsanlage mit einem rohrförmigen Targetkörper (4a) aus einem Zerstäubungsmaterial, und zumindest einem mit dem Targetkörper (4a) verbundenen Anschlussstück (6a) zum Anschließen des Targetkörpers (4a) an eine Kathodenzerstäubungsanlage, wobei das zumindest eine Anschlussstück (6a) mit einem Ende des Targetkörpers (4a) verbunden ist, und zumindest ein rohrförmiges Targetelement (8a) aus einem oder dem Zerstäubungsmaterial, wobei das rohrförmige Targetelement (8a) anschließend an das Ende des Targetkörpers (4a) auf dem Anschlussstück (6a) befestigbar oder befestigt ist, insbesondere wiederlösbar befestigt ist.

    Blanco tubular
    8.
    发明专利
    Blanco tubular 未知

    公开(公告)号：ES2555876T3

    公开(公告)日：2016-01-11

    申请号：ES12795724

    申请日：2012-10-17

    Applicant: PLANSEE SE

    Inventor： ABENTHUNG PETER ,  LINKE CHRISTIAN ,  DRONHOFER ANDRÉ ,  WOLF HARTMUT ,  WILL TOBIAS ,  KÖCK WOLFGANG

    IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

    Abstract: Blanco tubular (100) de metal refractario o una aleación de metal refractario con un contenido en metal refractario ≥ 50 % atómico que comprende al menos una sección tubular X (200, 201) con al menos por zonas una densidad relativa RDx y al menos una sección tubular Y (300) con al menos por zonas una densidad relativa RDy, en el que al menos una sección tubular X (200, 201) presenta al menos por zonas un diámetro exterior mayor que al menos por zonas una sección tubular Y (300), caracterizado por que**Fórmula** >= 0,001.

    Rohrförmiges Target
    9.
    发明专利
    Rohrförmiges Target 未知

    公开(公告)号：AT13609U1

    公开(公告)日：2014-04-15

    申请号：AT3652012

    申请日：2012-09-17

    Applicant: PLANSEE SE

    Inventor： MUTSCHLECHNER WALTER ,  DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN

    IPC: H01J37/34

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Target (2a) für eine Kathodenzerstäubungsanlage mit einemrohrförmigen Targetkörper (4a) aus einem Zerstäubungsmaterial, und zwei amTargetkörper (4a) befestigbaren Anschlussstücken (10a) zum Anschließen desTargetkörpers ( 4a) an eine Kathodenzerstäubungsanlage, wobei ein erstes Anschlussstückmit einem ersten Ende des Targetkörpers ( 4a) und ein zweites Anschlussstück mit einemzweiten Ende des Targetkörpers (4a) verbindbar ist, und wobei zumindest einArretierungsmittel (12a-d) an jedem Anschlussstück (10a) ausgebildet ist, um das jeweiligeAnschlussstück (10a) verdrehsicher mit dem Targetkörper (4a) zu verbinden.

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