Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung, aufweisend ein Substrat, ein auf dem Substrat angebrachtes und ein elektrisch leitendes Material aufweisendes Schutzgehäuse mit einer dem Substrat abgewandten Oberseite, in der eine Öffnung vorgesehen ist, und einen auf dem Substrat innerhalb des Schutzgehäuses angebrachten Stapel mit mindestens einem Detektorträger mit mindestens einem thermischen Detektorelement zur Umwandlung der Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal, mindestens einem Schaltungsträger mit mindestens einer Ausleseschaltung zum Auslesen des elektrischen Signals, und mindestens einer Abdeckung zum Abdecken des Detektorelements, wobei der Detektorträger zwischen dem Schaltungsträger und der Abdeckung angeordnet ist, der Detektorträger und die Abdeckung derart aneinander angeordnet sind, dass zwischen dem Detektorelement des Detektorträgers und der Abdeckung mindestens ein, vom Detektorträger und von der Abdeckung begrenzter, erster Stapelhohlraum des Stapels vorhanden ist, der Schaltungsträger und der Detektorträger derart aneinander angeordnet sind, dass zwischen dem Detektorträger und dem Schaltungsträger mindestens ein, vom Schaltungsträger und vom Detektorträger begrenzter, zweiter Stapelhohlraum des Stapels vorhanden ist und der erste Stapelhohlraum und/oder der zweite Stapelhohlraum evakuiert oder evakuierbar sind, und wobei der Stapel eine dem Substrat angewandte Stapeloberseite aufweist, mit der der Stapel mit der Öffnung in Eingriff steht, so dass die Stapeloberseite von außerhalb des Schutzgehäuses zugänglich ist. Verwendung findet die Vorrichtung in Bewegungsmeldern, Präsenzmeldern und Wärmebildkameras.
Abstract:
Ein Infrarotlichtsensor für einen Infrarotlichtdetektor (1) weist einen Trägermembranabschnitt (2) sowie mindestens zwei Sensorchips (7 bis 10), die nebeneinander liegend an dem Trägermembranabschnitt (2) befestigt sind und jeweils ein aus pyroelektrisch sensitivem Material hergestelltes Schichtelement (11) aufweisen, das von einer Basiselektrode (12) und einer Kopfelektrode (13) elektrisch kontaktiert und derart eingerichtet ist, dass zwischen der Kopfelektrode (13) und der Basiselektrode (12) eines jeden Schichtelements (11) jeweils eine Differenzspannung anliegt, wenn die Schichtelemente (11) mit Infrarotlicht bestrahlt sind, und jeweils für zwei benachbart angeordnete Sensorchips (7 bis 10) eine Kopplungsleitung (14 bis 16) auf, mit der die Kopfelektrode (13) des einen Sensorchips (7 bis 9) und die Basiselektrode (12) des anderen Sensorchips (8 bis 10) elektrisch leitend miteinander gekoppelt sind, so dass die Schichtelemente (11) der Sensorchips (7 bis 10) in einer Reihenschaltung geschaltet sind, die an ihrem einen Ende eine der Basiselektroden (17) und an ihrem anderen Ende eine der Kopfelektroden (18) aufweist, an denen eine Gesamtdifferenzspannung der Reihenschaltung als Summe der einzelnen Differenzspannungen der Schichtelemente (11) abgreifbar ist.
Abstract:
The invention relates to an apparatus for detecting thermal radiation, having a substrate, a protective housing which is fitted on the substrate and which has an electrically conductive material and having a top which faces away from the substrate and contains an aperture, and a stack, fitted on the substrate inside the protective housing, with at least one detector support having at least one thermal detector element for converting the thermal radiation into an electrical signal, at least one circuit carrier having at least one read circuit for reading the electrical signal, and at least one cover for covering the detector element, wherein the detector support is arranged between the circuit carrier and the cover, the detector support and the cover are arranged on one another such that the detector element of the detector support and the cover have at least one first stack cavity of the stack between them, said stack cavity being bounded by the detector support and by the cover, the circuit carrier and the detector support are arranged on one another such that the detector support and the circuit carrier have at least one second stack cavity of the stack between them, said second stack cavity being bounded by the circuit carrier and by the detector support, and the first stack cavity and/or the second stack cavity are evacuated or can be evacuated, and wherein the stack has a stack top which faces the substrate and by means of which the stack engages with the aperture, so that the stack top is accessible from outside the protective housing. The apparatus can be used in motion sensors, presence sensors and thermal image cameras.
Abstract:
The invention relates to an infrared light sensor for an infrared light detector (1), comprising a substrate membrane section (2) and at least two sensor chips (7 to 10), which are fastened lying next to each other on the substrate membrane section (2) and each comprise a layer element (11), which is produced from pyroelectrically sensitive material and is electrically contacted by a base electrode (12) and a head electrode (13) and is arranged in such a way that there is a voltage difference in each case between the head electrode (13) and the base electrode (12) of each layer element (11) when the layer elements (11) are irradiated with infrared light, and a coupling line (14 to 16) in each case for two adjacently arranged sensor chips (7 to 10), by means of which coupling line the head electrode (13) of the one sensor chip (7 to 9) and the base electrode (12) of the other sensor chip (8 to 10) are coupled to each other in an electrically conductive manner so that the layer elements (11) of the sensor chips (7 to 10) are connected in a series circuit, which has one of the base electrodes (17) at one end thereof and one of the head electrodes (18) at the other end thereof, at which a total voltage difference of the series circuit can be tapped as the sum of the individual voltage differences of the layer elements (11).
Abstract:
The invention relates to an apparatus for detecting thermal radiation, having a substrate, a protective housing which is fitted on the substrate and which has an electrically conductive material and having a top which faces away from the substrate and contains an aperture, and a stack, fitted on the substrate inside the protective housing, with at least one detector support having at least one thermal detector element for converting the thermal radiation into an electrical signal, at least one circuit carrier having at least one read circuit for reading the electrical signal, and at least one cover for covering the detector element, wherein the detector support is arranged between the circuit carrier and the cover, the detector support and the cover are arranged on one another such that the detector element of the detector support and the cover have at least one first stack cavity of the stack between them, said stack cavity being bounded by the detector support and by the cover, the circuit carrier and the detector support are arranged on one another such that the detector support and the circuit carrier have at least one second stack cavity of the stack between them, said second stack cavity being bounded by the circuit carrier and by the detector support, and the first stack cavity and/or the second stack cavity are evacuated or can be evacuated, and wherein the stack has a stack top which faces the substrate and by means of which the stack engages with the aperture, so that the stack top is accessible from outside the protective housing. The apparatus can be used in motion sensors, presence sensors and thermal image cameras.