公开(公告)号：WO2005033561A3

公开(公告)日：2005-10-27

申请号：PCT/US2004032108

申请日：2004-09-29

Applicant: REDWOOD MICROSYSTEMS INC

Inventor： HENNING ALBERT K ,  SELSER MICHAEL ,  COZAD BRADFORD A

IPC: F15C5/00 ,  F16K20060101 ,  F16K1/42 ,  F16K11/04 ,  F16K99/00

CPC classification number: F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0036 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0076 ,  Y10T137/86718 ,  Y10T137/86734

Abstract: A method for achieving high flow in valves with small actuation distance is described. A detailed description for a silicon microvalve is provided. An algorithm is described for designing optimized valves.

Abstract translation: 描述了用于在具有小致动距离的阀中实现高流量的方法。 提供硅微型阀的详细描述。 描述了用于设计优化阀的算法。