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1.发明申请MICRODEVICE FOR SENSING OR APPLYING A FORCE AND METHOD OF MAKING THE SAME 审中-公开用于感测或施加力的MICRODEVICE及其制造方法
公开(公告)号：WO1992010729A1
公开(公告)日：1992-06-25
申请号：PCT/US1991009423
申请日：1991-12-12
Applicant: REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MINNESOTA
IPC: G01L09/08
CPC classification number: G01L1/16 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: A microsensor or micromechanical device based upon the piezoelectric properties of thin film lead zirconate titanate (PZT) with a thickness of between 0.1 and 5 microns. The thin film PZT (11) is sandwiched between first and second electrodes (10, 12) which are provided with electrical connection means (14, 15) for electrically connecting the electrodes to a voltage sensor or voltage source (16). The invention also relates to a method for making such microsensor or micromechanical device.
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2.发明公开
公开(公告)号：EP0562031A1
公开(公告)日：1993-09-29
申请号：EP92903521.0
申请日：1991-12-12
Applicant: REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MINNESOTA
Inventor： POLLA, Dennis, L. , TAMAGAWA, Takashi
CPC classification number: G01L1/16 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: Dispositif de micro-détection ou micro-mécanique basé sur les propriétés piézoélectriques du titane de zirconate (PZT) à fils conducteurs à couche mince d'une épaisseur comprise entre 0,1 et 5 microns. Le PZT en couche mince (11) est pris en sandwich entre des première et seconde électrodes (10, 12), lesquelles sont dotées de moyens de connexion électrique (14, 15) permettant de relier électriquement les électrodes à un capteur de tension ou à une source de tension (16). L'invention concerne également un procédé de fabrication dudit dispositif de micro-détection ou micro-mécanique.
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