公开(公告)号：WO1989007264A1

公开(公告)日：1989-08-10

申请号：PCT/US1989000479

申请日：1989-02-07

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： ROSEMOUNT INC. ,  SITTLER, Fred, C. ,  NETI, Radhakrishna, M. ,  TOY, Adrian, C.

IPC: G01N27/46

CPC classification number: G01N27/423

Abstract: A solid state, thin film moisture sensing element (12) is disclosed. The sensing element (12) is fabricated by thin film deposition of at least a pair of two layer electrodes (32 and 34) on an insulating surface (27). The active surface of the element (12) is then coated with a layer of hygroscopic material (30) and placed in a diffusion limiting housing (14) to complete the sensing element assembly (10).

Abstract translation: 公开了一种固态薄膜湿度感测元件（12）。 感测元件（12）通过至少一对两层电极（32和34）在绝缘表面（27）上的薄膜沉积来制造。 元件（12）的活性表面然后用一层吸湿材料（30）涂覆并放置在扩散限制壳体（14）中以完成感测元件组件（10）。

公开(公告)号：EP0400063B1

公开(公告)日：1995-08-02

申请号：EP89902875.7

申请日：1989-02-07

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： SITTLER, Fred, C. ,  NETI, Radhakrishna, M. ,  TOY, Adrian, C.

IPC: G01N27/416

CPC classification number: G01N27/423

Abstract: A solid state, thin film moisture sensing element (12) is disclosed. The sensing element (12) is fabricated by thin film deposition of at least a pair of two layer electrodes (32 and 34) on an insulating surface (27). The active surface of the element (12) is then coated with a layer of hygroscopic material (30) and placed in a diffusion limiting housing (14) to complete the sensing element assembly (10).

Abstract translation: 公开了一种固态薄膜湿敏元件（12）。 感测元件（12）通过在绝缘表面（27）上沉积至少一对两个层电极（32和34）来制造。 然后元件（12）的有效表面涂覆一层吸湿材料（30）并放置在扩散限制壳体（14）中以完成感测元件组件（10）。

公开(公告)号：EP0400063A1

公开(公告)日：1990-12-05

申请号：EP89902875.0

申请日：1989-02-07

Applicant: ROSEMOUNT INC.

Inventor： SITTLER, Fred, C. ,  NETI, Radhakrishna, M. ,  TOY, Adrian, C.

IPC: G01N27

CPC classification number: G01N27/423

Abstract: La présente invention décrit un élément à l'état solide (12) de détection de l'humidité, constitué par une fine pellicule. L'élément de détection (12) est fabriqué par le dépôt en fines péllicules d'au moins une paire de deux électrodes en couche (32 et 34) sur une surface isolante (27). La surface active de l'élément (12) est ensuite recouverte par une couche de matière hygroscopique (30) et placée dans un logement (14) de limitation de la diffusion pour compléter l'unité à élément de détection (10).

Abstract translation: 本发明公开了一种由薄膜组成的用于水分检测的固态元件（12）。 感测元件（12）通过在绝缘表面（27）上沉积至少一对两层电极（32和34）而形成。 然后元件（12）的有效表面被一层吸湿材料（30）覆盖并放置在扩散限制壳体（14）中以完成检测元件单元（10）。