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公开(公告)号:FR2836724A1
公开(公告)日:2003-09-05
申请号:FR0202588
申请日:2002-03-01
Applicant: SILIOS TECHNOLOGIES
Inventor: TISSERAND STEPHANE , ROUX LAURENT , REVERSAT FABIEN , JACOB SOPHIE , ESCOUBAS LUDOVIC , DROUARD EMMANUEL
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公开(公告)号:FR2872275B1
公开(公告)日:2006-10-13
申请号:FR0406912
申请日:2004-06-24
Applicant: SILIOS TECHNOLOGIES SA
Inventor: TISSERAND STEPHANE , ROUX LAURENT , JACOB SOPHIE
IPC: G01B7/34 , G01N27/00 , H01J37/20 , H01L21/306 , H01L21/66 , H01L23/544
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公开(公告)号:FR2872275A1
公开(公告)日:2005-12-30
申请号:FR0406912
申请日:2004-06-24
Applicant: SILIOS TECHNOLOGIES SA
Inventor: TISSERAND STEPHANE , ROUX LAURENT , JACOB SOPHIE
IPC: H01L21/306 , H01L21/66 , H01L23/544 , G01B7/34 , G01N27/00 , H01J37/20
Abstract: L'invention présente un dispositif de calibration sur un substrat SU en silicium formé, en sus d'un niveau de référence Nc, par au moins deux niveaux distincts Ng, Nd.Ces niveaux présentent des dopages distincts.L'invention vise également un procédé de réalisation de ce dispositif de calibration, procédé comprenant une étape de définition pour définir au moins deux sections distinctes Sg, Sd d'une section de référence Sc sur un substrat SU en silicium.Cette étape de définition consiste à doper à des taux différents les sections différentes de la section de référence.
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公开(公告)号:FR2836724B1
公开(公告)日:2004-07-23
申请号:FR0202588
申请日:2002-03-01
Applicant: SILIOS TECHNOLOGIES
Inventor: TISSERAND STEPHANE , ROUX LAURENT , REVERSAT FABIEN , JACOB SOPHIE , ESCOUBAS LUDOVIC , DROUARD EMMANUEL
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公开(公告)号:AU2003222950A1
公开(公告)日:2003-09-16
申请号:AU2003222950
申请日:2003-02-28
Applicant: SILIOS TECHNOLOGIES
Inventor: TISSERAND STEPHANE , ROUX LAURENT , REVERSAT FABIAN , JACOB SOPHIE , ESCOUBAS LUDOVIC , DROUARD EMMANUEL
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公开(公告)号:CA2476179A1
公开(公告)日:2003-09-12
申请号:CA2476179
申请日:2003-02-28
Applicant: SILIOS TECHNOLOGIES
Inventor: ESCOUBAS LUDOVIC , DROUARD EMMANUEL , REVERSAT FABIAN , ROUX LAURENT , JACOB SOPHIE , TISSERAND STEPHANE
Abstract: L'invention présente un adaptateur de mode optique comportant un premier (C1 ) et un second (C2) canal sur un substrat optique (31) pour le raccordement d' un premier et d'un second guide d'onde respectivement à sa première (11) et à s a seconde (12) extrémité. Ces deux canaux étant recouverts par au moins une couche guidante (33), l'indice de réfraction du premier canal (C1) est inférieur à celui du second canal (C2). L'invention vise également une métho de de fabrication de cet adaptateur.
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