公开(公告)号：CN105552013A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201510659366.4

申请日：2015-10-12

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 李亨培 ,  安庆烈 ,  朴喜载

IPC: H01L21/68 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L21/682 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011

Abstract: 本发明涉及基板旋转对准装置，本发明的基板旋转对准装置为在沉积工艺中在掩模上对准基板的装置，包括：连接柱，与用于安装所述基板的安装部连接；旋转载物台，设置为圆形，用于固定所述连接柱，在外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部；动力传递部，包括彼此按规定间隔隔开配置的多个滚轮销，其中至少一个所述滚轮销在对所述旋转载物台的区域的凹陷部加压紧贴的状态下进行旋转，以向所述旋转载物台传递动力；及固定部，在彼此按规定间隔隔开配置的多个固定销中至少一个固定销紧贴于所述旋转载物台的另一区域的凹陷部，从而使固定部具有与所述动力传递部向所述旋转载物台的加压力相反方向的力的矢量。