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公开(公告)号：CN105190227B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201480015329.3
申请日：2014-03-17
Applicant: SNU精度株式会社
Abstract: 本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。
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公开(公告)号：CN105772305A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201510944230.8
申请日：2015-12-16
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: B05B15/04
CPC classification number: B05B14/00
Abstract: 本发明涉及一种薄膜沉积装置，本发明的薄膜沉积装置的特征在于，包括：腔室，其形成有内部空间，在形成上表面的遮断膜的一区域中形成有供沉积对象基板配设的开口部；原料供应部，其在所述腔室的内部空间内移动的同时向所述遮断膜提供沉积原料；及原料收集部，其在所述开口部的至少一侧设置在所述原料供应部和所述遮断膜之间，用于收集向遮断膜喷射的沉积原料。由此，能够防止沉积物质不必要地供应到腔室内部空间的同时，能够再利用通过原料收集部收集到的沉积物质。
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公开(公告)号：CN105552013A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510659366.4
申请日：2015-10-12
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: H01L21/682 , H01L51/001 , H01L51/0011
Abstract: 本发明涉及基板旋转对准装置，本发明的基板旋转对准装置为在沉积工艺中在掩模上对准基板的装置，包括：连接柱，与用于安装所述基板的安装部连接；旋转载物台，设置为圆形，用于固定所述连接柱，在外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部；动力传递部，包括彼此按规定间隔隔开配置的多个滚轮销，其中至少一个所述滚轮销在对所述旋转载物台的区域的凹陷部加压紧贴的状态下进行旋转，以向所述旋转载物台传递动力；及固定部，在彼此按规定间隔隔开配置的多个固定销中至少一个固定销紧贴于所述旋转载物台的另一区域的凹陷部，从而使固定部具有与所述动力传递部向所述旋转载物台的加压力相反方向的力的矢量。
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公开(公告)号：CN102428344B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201080022149.X
申请日：2010-04-12
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种三维形貌检测方法。该方法用于检测被检测体，所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球，其特征是包括：中心部确定步骤，获得焊锡球的图像后确定焊锡球的中心部；图像获得步骤，在被检测体上形成正弦波图纹，并获得同时包括基板上面和焊锡球的整合图像；相位值确定步骤，在整合图像中选定通过焊锡球中心部的虚拟直线—基准线，并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为焊锡球中心部的相位值，在位于基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后，将其定为基板的相位值；及高度计算步骤，由焊锡球中心部的相位值和基板的相位值之间的差，计算从基板上面到焊锡球中心部的高度。
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公开(公告)号：CN103460368A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280018215.5
申请日：2012-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01B11/24 , G01B2210/56 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102422121B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201080020216.4
申请日：2010-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/005 , G01B11/03 , G01C11/025
Abstract: 本发明涉及视觉检测系统及利用该系统的坐标转换方法。该系统包括：工作台，支撑被检测体；台架，使工作台在Y轴方向上直线往复运动；多个摄像机，为了获得被检测体或工作台的图像，沿X轴方向相隔配置，其中包括：多个第一标记，沿着与Y轴交叉的X轴方向相隔配置在工作台的一端；多个第二标记，一部分从多个第一标记中最左侧的第一标记开始在工作台的一侧沿Y轴方向相隔配置，另一部分从多个第一标记中最右侧的第一标记开始在工作台的另一侧沿Y轴方向相隔配置。获得多个第一标记的图像后，将此图像坐标值转换成台架坐标值，获得多个第二标记的图像后，将此图像坐标值和台架坐标值转换成台架的精确度得到补偿的以被检测体为基准的绝对坐标值。
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公开(公告)号：CN102362146A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201080013587.X
申请日：2010-02-26
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线；输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度；输出强度设定步骤，在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线，并将其结果设定为特定波长的输出强度；积分反射度设定步骤，将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度；及积分反射度分布曲线生成步骤，边改变特定波长，边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。
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公开(公告)号：CN105492861B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201480046738.X
申请日：2014-09-23
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及厚度检测装置，本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer)，其特征在于包括：光源，用于发射光；滤光部，接收从所述光源发射的光后，相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光，并能调节所述具有强度分布的光的波长宽度；光学系统，将由所述滤光部调制后的光向检测对象侧照射，并且接收从所述检测对象侧反射的光；光检测部，接收通过所述光学系统的光，并获得反射度信息；及控制部，通过设定能够透射所述滤光部的多个频率来调节由所述滤光部调制的光的波长宽度，并且通过比较理论反射度信息和由所述光检测部获得的反射度信息来检测检测对象的厚度，所述理论反射度信息通过数学式建模后预先被储存。
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公开(公告)号：CN103460368B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201280018215.5
申请日：2012-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01B11/24 , G01B2210/56 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种TSV检测用干涉仪以及利用该干涉仪的检测方法，本发明的TSV检测用干涉仪在检测TSV时，利用可变视场光阑检测TSV的直径及深度，从而能够缩短检测时间，并且减少结果数据容量，其中可变视场光阑将光线的焦点调节到TSV的入口和底面。而且，本发明利用远心透镜，从而即使在如TSV那样纵横比大的情况下也能确保到达底面的光量，从而提高检测精度，其中远心透镜使向TSV入射的光线实质上成为直线光。
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公开(公告)号：CN102439415B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201080016220.3
申请日：2010-04-06
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/002 , G01N21/956 , G01N2021/8887
Abstract: 本发明涉及影像对中方法，包括：登录阶段，用第一倍率光学系拍摄检测对象后在拍摄到的第一倍率图像中设定欲寻找的检测区域位置并登录为原型图像；拍摄阶段，用倍率比第一倍率高的第二倍率光学系按规定顺序拍摄检测对象而获得目标图像；缩小阶段，将在拍摄阶段获得的目标图像缩小成第一倍率大小并登录为检测图像；匹配阶段，在原型图像中检索检测图像；对中阶段，若通过匹配阶段检测到检测图像则移动第二倍率光学系或检测对象，使之对应于在登录阶段设定的检测区域的位置。这样即使没有光学系的比率转换也能迅速获得最终图像。而在随着检索过程中的移动而登录的目标图像中只显示原型图像的一部分或者不显示时也能获得检测区域位于中央的最终图像。
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