公开(公告)号：FR3098977B1

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：FR1908189

申请日：2019-07-19

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS

Inventor： BOEUF FREDERIC ,  BARRERA CYRILLE

IPC: H01L21/20 ,  G02B6/42 ,  H01L21/18 ,  H01L21/302 ,  H01L21/31

Abstract: Modulateur optique capacitif La présente description concerne un modulateur électro-optique capacitif comprenant : une première couche (108) de silicium ; un empilement d'une première bande (302) de germanium ou de silicium-germanium reposant sur la première couche (108) et d'une deuxième bande (300) de silicium reposant sur la première bande, la première bande étant moins large que la deuxième bande ; un isolant (400) bordant latéralement l'empilement et affleurant une face supérieure de la deuxième bande (300) ; une couche isolante (402) reposant sur l'isolant (400) et la deuxième bande (300) ; et une couche (500) de matériaux III-V reposant sur la couche isolante (402) et comprenant une troisième bande (501) disposée au-dessus et en regard de la deuxième bande (300). La présente description concerne également un procédé de fabrication d'un tel modulateur. Figure pour l'abrégé : Fig. 5

公开(公告)号：FR3098977A1

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：FR1908189

申请日：2019-07-19

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS

Inventor： BOEUF FREDERIC ,  BARRERA CYRILLE

IPC: H01L21/20 ,  G02B6/42 ,  H01L21/18 ,  H01L21/302 ,  H01L21/31

Abstract: Modulateur optique capacitif La présente description concerne un modulateur électro-optique capacitif comprenant : une première couche (108) de silicium ; un empilement d'une première bande (302) de germanium ou de silicium-germanium reposant sur la première couche (108) et d'une deuxième bande (300) de silicium reposant sur la première bande, la première bande étant moins large que la deuxième bande ; un isolant (400) bordant latéralement l'empilement et affleurant une face supérieure de la deuxième bande (300) ; une couche isolante (402) reposant sur l'isolant (400) et la deuxième bande (300) ; et une couche (500) de matériaux III-V reposant sur la couche isolante (402) et comprenant une troisième bande (501) disposée au-dessus et en regard de la deuxième bande (300). La présente description concerne également un procédé de fabrication d'un tel modulateur. Figure pour l'abrégé : Fig. 5