公开(公告)号：FR3059110A1

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：FR1661301

申请日：2016-11-21

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS

Inventor： FARYS VINCENT ,  INARD ALAIN ,  NOBLANC OLIVIER

IPC: G02B5/02

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un diffuseur optique comprenant les étapes successives suivantes : a) prévoir une plaquette (13) comprenant une tranche de silicium (15) dont une face supérieure est revêtue d'une première couche (9) en un premier matériau elle-même revêtue d'une deuxième couche en un deuxième matériau gravable sélectivement par rapport au premier matériau ; b) former dans la deuxième couche des ouvertures s'étendant jusqu'à la première couche (9) ; c) remplir les ouvertures dans la deuxième couche (17) d'un troisième matériau. d) coller un support en verre (11) à la plaquette (13) du côté de sa face supérieure ; et e) retirer la tranche de silicium (15).