公开(公告)号：FR2976193A1

公开(公告)日：2012-12-14

申请号：FR1154936

申请日：2011-06-07

Applicant: ST MICROELECTRONICS GRENOBLE 2 ,  ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： CHAPPAZ CEDRICK ,  ANCEY PASCAL ,  GILOT YVES ,  LAFFONT SERGE ,  GIRARD OLIVIER

IPC: B06B1/06 ,  G06F3/01

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'éléments vibrants (PA), comprenant des étapes de formation sur une plaquette (SB) d'une structure multicouches par un procédé de fabrication de circuit intégré, la structure multicouches comprenant un élément (VA) susceptible de vibrer lorsqu'il est soumis à un signal électrique, et des électrodes (LE, UE) pour transmettre un signal électrique à l'élément vibrant, l'élément vibrant comportant une face de couplage mécanique par laquelle il est apte à transmettre à un organe de commande (GL) des vibrations perceptibles par un utilisateur.