公开(公告)号：FR2927743B1

公开(公告)日：2011-06-03

申请号：FR0800828

申请日：2008-02-15

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  CENTRE NAT RECH SCIENT

Inventor： BELOT DIDIER ,  SHIRAKAWA ALEXANDRE AUGUSTO ,  KERHERVE ERIC ,  CATHELIN ANDREIA ,  PHAM JEAN MARIE ,  JARY PIERRE

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/54 ,  H03H9/60

公开(公告)号：FR2922696A1

公开(公告)日：2009-04-24

申请号：FR0758470

申请日：2007-10-22

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  CENTRE NAT RECH SCIENT

Inventor： BELOT DIDIER ,  CATHELIN ANDREIA ,  SHIRAKAWA ALEXANDRE ,  PHAM JEAN MARIE ,  JARY PIERRE ,  KERHERVE ERIC

IPC: H03H9/02 ,  H01L41/083 ,  H03H9/54

Abstract: Résonateur à ondes de Lamb (100), comportant au moins une couche piézoélectrique (102) et une première électrode (106) disposée contre une première face de la couche piézoélectrique et dont le motif, dans un plan parallèle au plan de la première face de la couche piézoélectrique, comporte au moins deux doigts (108) et un bras de contact (110), chacun des doigts comportant un premier côté en contact avec ledit bras et deux autres côtés parallèles l'un par rapport à l'autre et espacés l'un de l'autre d'une distance W égale à : avec n ∈ Nvalatéral : vitesse de propagation acoustique des ondes de Lamb,n : ordre du mode de résonance,f : fréquence de résonance du résonateur,des portions (114) de la couche piézoélectrique se trouvant au niveau du plan de la première face, entre les doigts de la première électrode étant gravées au moins partiellement.

公开(公告)号：AT509427T

公开(公告)日：2011-05-15

申请号：AT08842063

申请日：2008-10-22

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  CENTRE NAT RECH SCIENT

Inventor： BELOT DIDIER ,  CATHELIN ANDREIA ,  SHIRAKAWA ALEXANDRE ,  PHAM JEAN-MARIE ,  JARY PIERRE ,  KERHERVE ERIC

IPC: H03H9/02

Abstract: A Lamb wave resonator includes a piezoelectric layer, and a first electrode against a first face of the piezoelectric layer. The first electrode includes fingers and a contact arm, with each finger including a first side in contact with the contact arm and two other sides parallel to one another. Portions of the piezoelectric layer are at least partially etched between the two fingers to form a recess. The fingers are spaced apart from one another by a distance W calculated according to the following equation: W = n · va lateral f , with ⁢⁢ n ∈ N where, valateral is an acoustic propagation speed of Lamb waves, n is an order of a resonance mode of the Lamb waves, f is a resonance frequency of the Lamb wave resonator.

公开(公告)号：FR2922696B1

公开(公告)日：2010-03-12

申请号：FR0758470

申请日：2007-10-22

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  CENTRE NAT RECH SCIENT

Inventor： BELOT DIDIER ,  CATHELIN ANDREIA ,  SHIRAKAWA ALEXANDRE ,  PHAM JEAN MARIE ,  JARY PIERRE ,  KERHERVE ERIC

IPC: H03H9/02 ,  H01L41/083 ,  H03H9/54

公开(公告)号：FR2927743A1

公开(公告)日：2009-08-21

申请号：FR0800828

申请日：2008-02-15

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA ,  CENTRE NAT RECH SCIENT

Inventor： BELOT DIDIER ,  SHIRAKAWA ALEXANDRE AUGUSTO ,  KERHERVE ERIC ,  CATHELIN ANDREIA ,  PHAM JEAN MARIE ,  JARY PIERRE

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/54 ,  H03H9/60

Abstract: Filtre à résonateur couplés comportant :- un substrat (100) ;- un miroir acoustique (101) destiné à servir de support à des résonateurs acoustiques , et à isoler ces résonateurs du substrat ;- une première structure (GAUCHE) comportant un résonateur supérieur (120) et un résonateur inférieur (110) couplés l'un à l'autre au moyen d'au moins une couche de couplage acoustique (130) ;- une seconde structure (DROITE) comportant un résonateur supérieur (220) et un résonateur inférieur (210) couplés l'un à l'autre au moyen d'au moins une couche de couplage acoustique (130) ;- lesdits résonateurs inférieurs de la première et seconde structure disposant des mêmes électrodes (211, 213).Le filtre est caractérisé en ce que les première et seconde structures sont connectées via un cinquième résonateur (300) dont les électrodes et la couche piézo-électriques sont celles desdits résonateurs inférieurs de la dite première et seconde structure.