NORMALERWEISE AUSGESCHALTETER TRANSISTOR MIT REDUZIERTEM EINSCHALTWIDERSTAND SOWIE HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR

    公开(公告)号:DE102016109338A1

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:DE102016109338

    申请日:2016-05-20

    Abstract: Eine normalerweise ausgeschaltete elektronische Vorrichtung weist Folgendes auf: einen Halbleiterkörper (15) mit einer Heterostruktur (7), die sich über einer Pufferschicht (11) erstreckt; eine vertiefte Gate-Elektrode (14), die sich in einer zu der Ebene (XY) orthogonalen Richtung (Z) erstreckt; eine erste Arbeitselektrode (16) und eine zweite Arbeitselektrode (18) auf jeweiligen Seiten von der Gate Elektrode (14); und einen aktiven Bereich (15a), in dem im eingeschalteten Zustand ein Leitungweg für einen Fluss von elektrischem Strom zwischen der ersten und der zweiten Arbeitselektrode untergebracht ist. Ein Widerstandsbereich (6) erstreckt sich zumindest teilweise in dem aktiven Bereich, der sich in der Pufferschicht befindet, und ist dazu ausgebildet, den Stromfluss zwischen der ersten und der zweiten Arbeitselektrode zu unterbinden, wenn sich die Vorrichtung im ausgeschalteten Zustand befindet. Die Gate-Elektrode (14) erstreckt sich in dem Halbleiterkörper (15) auf eine Tiefe, die zumindest gleich der von dem Widerstandsbereich erreichten maximalen Tiefe ist.

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