公开(公告)号：WO2014006570A1

公开(公告)日：2014-01-09

申请号：PCT/IB2013055430

申请日：2013-07-02

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： PAGANI ALBERTO ,  MOTTA ALESSANDRO ,  LOI SARA

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/43

CPC classification number: H01L31/02327 ,  G02B6/12002 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/43 ,  H01L31/103 ,  H01L31/125

Abstract: An integrated electronic device, delimited by a first surface (Si) and by a second surface (S2) and including: a body (2) made of semiconductor material, formed inside which is at least one optoelectronic component chosen between a detector (30) and an emitter (130); and an optical path (OP), which is at least in part of a guided type and extends between the first surface and the second surface, the optical path traversing the body. The optoelectronic component is optically coupled, through the optical path, to a first portion of free space and a second portion of free space, which are arranged, respectively, above and underneath the first and second surfaces.

Abstract translation: 一种由第一表面（Si）和第二表面（S2）界定并包括：由半导体材料制成的主体（2）的集成电子器件，其中形成有至少一个光电元件，所述至少一个光电元件选自检测器（30） 和发射器（130）; 以及光路（OP），其至少部分地是引导型的并且在所述第一表面和所述第二表面之间延伸，所述光路穿过所述主体。 光电子部件通过光路光耦合到自由空间的第一部分和自由空间的第二部分，其分别布置在第一和第二表面的上方和下方。

公开(公告)号：DE102015114738A1

公开(公告)日：2016-03-17

申请号：DE102015114738

申请日：2015-09-03

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： PAGANI ALBERTO ,  LOI SARA

IPC: G01N15/10 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  G01N15/14 ,  G01N21/49 ,  H01L31/10 ,  H01L33/00 ,  H01L35/28

Abstract: Eine Detektionsvorrichtung (100) ist in einem Körper (2) aus Halbleitermaterial gebildet, der eine erste Oberfläche (2A) und eine zweite Oberfläche (2B) sowie einen Hohlraum (4) aufweist. Ein Detektionsbereich (4A) ist in dem Hohlraum gebildet, und eine Luftpumpe (50) ist in den Körper integriert und dazu ausgebildet, eine zwangsweise Luftbewegung in Richtung auf den Detektionsbereich zu veranlassen. Ein Detektionssystem (5–8) eines optischen Typs oder ein Alphateilchen-Detektor ist zumindest in einem Teil des Detektionsbereichs angeordnet.

公开(公告)号：DE102014119717A1

公开(公告)日：2015-07-02

申请号：DE102014119717

申请日：2014-12-30

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： PAGANI ALBERTO ,  MOTTA ALESSANDRO ,  LOI SARA ,  CHIARETTI GUIDO

IPC: G02B6/42

Abstract: Eine integrierte optoelektronische Vorrichtung, die von einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche begrenzt ist und Folgendes aufweist: einen Körper aus Halbleitermaterial, in dessen Innerem mindestens eine optoelektronische Komponente gebildet ist, die aus einem Detektor und einem Emitter ausgewählt ist; sowie einen optischen Pfad, der zumindest teilweise vom geführten Typ ist und sich zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche erstreckt, wobei der optische Pfad den Körper durchläuft. Die optoelektronische Komponente ist durch den optischen Pfad mit einem ersten Bereich eines freien Raums und einem zweiten Bereich eines freien Raums optisch gekoppelt, die über bzw. unter der ersten und der zweiten Oberfläche angeordnet sind.

公开(公告)号：DE102014119717B4

公开(公告)日：2018-06-28

申请号：DE102014119717

申请日：2014-12-30

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： PAGANI ALBERTO ,  MOTTA ALESSANDRO ,  LOI SARA ,  CHIARETTI GUIDO

IPC: G02B6/42 ,  G02B6/12 ,  G02B6/13

Abstract: Integrierte optoelektronische Vorrichtung (1), die durch eine erste Oberfläche (S) und durch eine zweite Oberfläche (S) begrenzt ist und Folgendes aufweist:- einen Körper (2) aus Halbleitermaterial, in dessen Innerem zumindest eine erste optoelektronische Komponente gebildet ist aus: einem Detektor (160) und einem Emitter (130); und- einen optischen Pfad (OP), bei dem es sich zumindest teilweise um einen geführten Typ handelt und der sich zwischen der ersten Oberfläche (S) und der zweiten Oberfläche (S) erstreckt, wobei der optische Pfad (OP) den Körper (2) durchläuft;wobei die erste optoelektronische Komponente durch den optischen Pfad(OP) mit einem ersten Bereich eines freien Raums und einem zweiten Bereich eines freien Raums optisch gekoppelt ist, die über bzw. unter der ersten und der zweiten Oberfläche (S, S) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1)weiterhin eine obere Region (4) aufweist, die oben auf dem Körper (2) angeordnet istund die erste Oberfläche (S) bildet, wobei der Körper (2) von der zweiten Oberfläche (S) und von einer Hauptfläche begrenzt ist, wobei die Hauptfläche zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche (S, S) angeordnet ist; und wobei der optische Pfad (OP) durch einen ersten Begrenzungsbereich und einen zweiten Begrenzungsbereich gebildet ist, wobei sich der erste Begrenzungsbereich ausgehend von der ersten Oberfläche (S) innerhalb der oberen Region (4) erstreckt und sich der zweite Begrenzungsbereich ausgehend von der zweiten Oberfläche (S) innerhalb des Körpers (2) erstreckt; und wobei der erste Begrenzungsbereich seitlich von einem ersten seitlichen Bereich umgeben ist, der einen Brechungsindex aufweist, der niedriger ist als der Brechungsindex des ersten Begrenzungsbereichs, so dass der erste Begrenzungsbereich und der erste seitliche Bereich einen ersten Kopplungs-Wellenleiter (22) bilden; und wobei der zweite Begrenzungsbereich seitlich von einem zweiten seitlichen Bereich umgeben ist, der einen Brechungsindex aufweist, der niedriger ist als der Brechungsindex des zweiten Begrenzungsbereichs, so dass der zweite Begrenzungsbereich und der zweite seitliche Bereich einen zweiten Kopplungs-Wellenleiter (24) bilden.

公开(公告)号：ITTO20120583A1

公开(公告)日：2014-01-03

申请号：ITTO20120583

申请日：2012-07-02

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： LOI SARA ,  MOTTA ALESSANDRO ,  PAGANI ALBERTO

公开(公告)号：IT201900010638A1

公开(公告)日：2021-01-02

申请号：IT201900010638

申请日：2019-07-02

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： LOI SARA ,  CREMA PAOLO ,  FREGUGLIA ALESSANDRO

IPC: G01T20060101

公开(公告)号：DE112013003336T5

公开(公告)日：2015-04-02

申请号：DE112013003336

申请日：2013-07-02

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： PAGANI ALBERTO ,  MOTTA ALESSANDRO ,  LOI SARA

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/43

Abstract: Eine integrierte optoelektronische Vorrichtung, die von einer ersten Oberfläche (S1) und einer zweiten Oberfläche (S2) begrenzt ist und Folgendes aufweist: einen Körper (2) aus Halbleitermaterial, in dessen Innerem mindestens eine optoelektronische Komponente gebildet ist, die aus einem Detektor (30) und einem Emitter (130) ausgewählt ist; sowie einen optischen Pfad (OP), der zumindest teilweise vom geführten Typ ist und sich zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche erstreckt, wobei der optische Pfad den Körper durchläuft. Die optoelektronische Komponente ist durch den optischen Pfad mit einem ersten Bereich eines freien Raums und einem zweiten Bereich eines freien Raums optisch gekoppelt, die über bzw. unter der ersten und der zweiten Oberfläche angeordnet sind.