Patent search ap:("STICHTING FUND OND MATERIAL") AND inv:"GOEDHEER WILLEM JAN" Page 1

1.

发明专利
Werkwijze voor het beschermen van een optisch element in een stralingsbron voor elektromagnetische straling met een golflengte in het extreem ultraviolet (XUV) golflengtegebied en stralingsbron. 未知

公开(公告)号：NL1034039C2

公开(公告)日：2008-12-30

申请号：NL1034039

申请日：2007-06-26

Applicant: STICHTING FUND OND MATERIAL

Inventor： WIEGGERS ROB CARLO , GOEDHEER WILLEM JAN , BIJKERK FREDERIK

IPC: G03F7/20 , H05G2/00

Patent Agency Ranking