Patent search ap:("STICHTING FUND OND MATERIAL") AND inv:"YAKSHIN ANDREY EVGENJEVICH" Page 1

1.

发明专利
Stralingsbron voor elektromagnetische straling met een golflengte in het extreem ultraviolet (XUV) golflengtegebied. 未知

公开(公告)号：NL1032674C2

公开(公告)日：2008-04-15

申请号：NL1032674

申请日：2006-10-13

Applicant: STICHTING FUND OND MATERIAL

Inventor： BIJKERK FREDERIK , YAKSHIN ANDREY EVGENJEVICH , AKDIM MOHAMED REDA , KLEIJN AART WILLEM

IPC: G21K1/06 , G03F7/20 , H05G2/00

Patent Agency Ranking