公开(公告)号：EP3187825B1

公开(公告)日：2020-08-19

申请号：EP16199423.1

申请日：2016-11-17

Applicant: STMicroelectronics S.r.l. ,  STMicroelectronics, Inc. ,  STMicroelectronics International N.V.

Inventor： VALZASINA, Carlo ,  HUANTONG, Zhang ,  BRUNETTO, Matteo Fabio ,  ANDERSSON, Gert Ingvar ,  SVENSSON, Erik Daniel ,  HEDENSTIERNA, Nils Einar

IPC: G01C19/574

公开(公告)号：EP3187825A1

公开(公告)日：2017-07-05

申请号：EP16199423.1

申请日：2016-11-17

Applicant: STMicroelectronics S.r.l. ,  STMicroelectronics, Inc. ,  STMicroelectronics International N.V.

Inventor： VALZASINA, Carlo ,  HUANTONG, Zhang ,  BRUNETTO, Matteo Fabio ,  ANDERSSON, Gert Ingvar ,  SVENSSON, Erik Daniel ,  HEDENSTIERNA, Nils Einar

IPC: G01C19/574

Abstract: A gyroscope includes: a substrate (2); a first structure (11), a second structure (12) and a third structure (10) elastically coupled to the substrate (2) and movable along a first axis (X), the first and second structure (11; 12) being arranged at opposite sides of the third structure (10) with respect to the first axis (X); a driving system (4, 16a, 16b, 20a, 20b), configured to oscillate the first and second structure (11, 12) along the first axis (X) in phase with one another and in phase opposition with the third structure (10); the first, second and third structure (11, 12, 10) being provided with respective sets of sensing electrodes (17a, 21a), configured to be displaced along a second axis (Y) perpendicular to the first axis (X) in response to rotations of the substrate (2) about a third axis (Z) perpendicular to the first axis (X) and to the second axis (Y).

Abstract translation: 陀螺仪包括：衬底（2）; 第一结构（11），第二结构（12）和第三结构（10），所述第一结构（11），所述第二结构（12）和第三结构（10）弹性地联接到所述基板（2）并且能够沿着第一轴线 在第三结构（10）的相对于第一轴线（X）的相对侧处; 驱动系统（4,16a，16b，20a，20b），所述驱动系统被配置为使所述第一结构（11）和所述第二结构（12）沿着所述第一轴线（X）彼此相位地振荡并且与所述第三结构（10 ）; 所述第一，第二和第三结构（11,12,10）设置有相应的感测电极组（17a，21a），所述感测电极组被配置为响应于所述感测电极沿着垂直于所述第一轴（X）的第二轴（Y） 围绕垂直于第一轴线（X）和第二轴线（Y）的第三轴线（Z）旋转衬底（2）。

公开(公告)号：EP3086089A1

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：EP15200480.0

申请日：2015-12-16

Applicant: STMicroelectronics S.r.l.

Inventor： PRATI, Daniele ,  VALZASINA, Carlo ,  FALORNI, Luca Giuseppe ,  BRUNETTO, Matteo Fabio

IPC: G01C19/5747 ,  G01C19/5762

CPC classification number: G01C19/5733 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

Abstract: A microelectromechanical gyroscope includes: a substrate (2); a stator sensing structure (16b) fixed to the substrate (2); a first mass (7) elastically constrained to the substrate (2) and movable with respect to the substrate (2) in a first direction (D1); a second mass (8) elastically constrained to the first mass (7) and movable with respect to the first mass (7) in a second direction (D2); and a third mass (10) elastically constrained to the second mass (8) and to the substrate (2) and capacitively coupled to the stator sensing structure (16b), the third mass (10) being movable with respect to the substrate (2) in the second direction (D2) and with respect to the second mass (8) in the first direction (D1).

Abstract translation: 一种微机电陀螺仪，包括：衬底（2）; 定子感测结构（16B）固定在基板（2）; 第一质量（7）弹性地约束于基板（2）和可相对于第一方向（D1）的基板（2）; 第二质量（8）在第二方向（D2）弹性地约束到所述第一质量块（7）和可相对于所述第一质量块（7）; 和第三质量块（10）弹性地约束到所述第二质量块（8）和所述基材（2）和电容耦合到可相对于基板的定子感测结构（16B），所述第三质量块（10）（2 ）（在第二方向（D2），并且相对于在所述第一方向（D1），第二质量块8）。