公开(公告)号：EP0848428B1

公开(公告)日：2003-04-23

申请号：EP96830625.8

申请日：1996-12-16

Applicant: STMicroelectronics S.r.l.

Inventor： Ghio, Emilio ,  Alba, Simone ,  Colognese, Andrea ,  Maugain, François ,  Rivera, Giovanni Via V. Alfieri, 8

IPC: H01L29/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L22/20 ,  H01L22/12

公开(公告)号：EP0848422B1

公开(公告)日：2002-03-27

申请号：EP96830624.1

申请日：1996-12-16

Applicant: STMicroelectronics S.r.l.

Inventor： Ghio, Emilio ,  Alba, Simone ,  Colognese, Andrea

IPC: H01L21/8247 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/66825 ,  H01L21/28176