公开(公告)号：EP1988366A1

公开(公告)日：2008-11-05

申请号：EP07425256.0

申请日：2007-04-30

Applicant: STMicroelectronics S.r.l.

Inventor： Ungaretti, Tommaso ,  Jawed, Syed Arsalan ,  Gottardi, Massimo ,  Baschirotto, Andrea

IPC: G01D5/24

CPC classification number: G01D5/24 ,  B06B1/0292 ,  G01L9/0073 ,  G01P1/023 ,  G01P15/125

Abstract: In a capacitive sensor (10), a detection structure (11), of a microelectromechanical type, is provided with a fixed element (4) and a mobile element (5), capacitively coupled to one another, generating a capacitive variation (ΔC m ) as a function of a quantity to be detected, and with a parasitic coupling element (2), capacitively coupled to at least one between the mobile element (5) and the fixed element (4) generating a first parasitic capacitance (27; 28), intrinsic to the detection structure (11); a readout-interface circuit (12) is connected to the detection structure (11) and generates, on an output terminal (23) thereof, an output signal (V out ) as a function of the capacitive variation (ΔC m ). The readout-interface circuit (12) has a feedback path (29) between the output terminal (23) and the parasitic coupling element (2) so as to drive the first intrinsic parasitic capacitance (27; 28) with the output signal (V out ).

Abstract translation: 在电容传感器（10），微机电型的检测结构（11），被提供有固定元件（4）和移动元件（5），电容性地耦合到彼此，生成的电容的变化（“C 米），为量的函数被检测，和带有寄生耦合元件（2），电容的可移动元件（5）和所述固定元件（4）产生第一寄生电容（27之间耦合到至少一个; 28）固有的检测结构（11）; 的读出接口电路（12）被连接到所述检测结构（11）和基因的价格，到输出端子（23）上，以输出信号（V OUT）作为电容变化（“C米）的函数。 所读出的接口电路（12）具有输出端（23）和所述寄生耦合元件（2）之间的反馈路径（29），以便驱动所述第一本征寄生电容（27; 28）与所述输出信号（V 出）。