Dispositif d'encapsulage pour MEMS.

    公开(公告)号:CH703289A2

    公开(公告)日:2011-12-15

    申请号:CH9432010

    申请日:2010-06-11

    Abstract: L’invention se rapporte à un dispositif d’encapsulage (3) pour un système électro-micromécanique (5) comportant un boîtier (7) comprenant une partie principale (2) formant une cavité (10) qui est fermée hermétiquement par un couvercle (4) à l’aide de moyens d’étanchéité (6). Selon l’invention, les moyens d’étanchéité (6) comportent un alliage formé par du nickel avec un matériau dont le point de fusion est inférieur à 250 °C afin de permettre son interdiffusion à l’état liquide avec le nickel. L’invention concerne le domaine des composants électroniques comportant un résonateur ou plus généralement un MEMS.

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