Résonateur thermocompensé aux premier et second ordres.

    公开(公告)号:CH703271A2

    公开(公告)日:2011-12-15

    申请号:CH9402010

    申请日:2010-06-10

    Abstract: L’invention se rapporte à un résonateur thermocompensé comportant un corps utilisé en déformation, l’âme du corps étant formé à partir d’une plaque coupée dans un cristal de quartz. Selon l’invention, le corps comporte un revêtement déposé au moins partiellement contre l’âme, l’angle &thetas;, de coupe de la plaque et l’épaisseur (d) du revêtement étant adaptés en fonction des coefficients thermoélastiques dudit revêtement afin d’obtenir des coefficients thermiques aux premier et deuxième ordres (α, &bgr;) sensiblement nuls. L’invention concerne le domaine des bases de temps et de fréquence.

    Dispositif d'encapsulage pour MEMS.

    公开(公告)号:CH703289A2

    公开(公告)日:2011-12-15

    申请号:CH9432010

    申请日:2010-06-11

    Abstract: L’invention se rapporte à un dispositif d’encapsulage (3) pour un système électro-micromécanique (5) comportant un boîtier (7) comprenant une partie principale (2) formant une cavité (10) qui est fermée hermétiquement par un couvercle (4) à l’aide de moyens d’étanchéité (6). Selon l’invention, les moyens d’étanchéité (6) comportent un alliage formé par du nickel avec un matériau dont le point de fusion est inférieur à 250 °C afin de permettre son interdiffusion à l’état liquide avec le nickel. L’invention concerne le domaine des composants électroniques comportant un résonateur ou plus généralement un MEMS.

    Résonateur thermocompensé aux premier et second ordres.

    公开(公告)号:CH703271B1

    公开(公告)日:2015-02-27

    申请号:CH9402010

    申请日:2010-06-10

    Abstract: L’invention se rapporte à un résonateur thermocompensé comportant un corps utilisé en déformation, l’âme du corps étant formé à partir d’une plaque coupée dans un cristal de quartz. Selon l’invention, le corps comporte un revêtement déposé au moins partiellement contre l’âme, l’angle (&thetas;) de coupe de la plaque et l’épaisseur (d) du revêtement étant adaptés en fonction des coefficients thermoélastiques dudit revêtement afin d’obtenir des coefficients thermiques aux premier et deuxième ordres (α, &bgr;) sensiblement nuls. L’invention concerne le domaine des bases de temps et de fréquence.

    Dispositif d'encapsulage pour MEMS.

    公开(公告)号:CH703289B1

    公开(公告)日:2015-05-15

    申请号:CH9432010

    申请日:2010-06-11

    Abstract: L’invention se rapporte à un dispositif d’encapsulage (3) pour un système électro-micromécanique (5) comportant un boîtier (7) comprenant une partie principale (2) formant une cavité (10) qui est fermée hermétiquement par un couvercle (4) à l’aide de moyens d’étanchéité (6). Selon l’invention, les moyens d’étanchéité (6) comportent un alliage formé par du nickel avec un matériau dont le point de fusion est inférieur à 250 °C afin de permettre son interdiffusion à l’état liquide avec le nickel. L’invention concerne le domaine des composants électroniques comportant un résonateur ou plus généralement un MEMS.

    FIRST AND SECOND ORDERS TEMPERATURE-COMPENSATED RESONATOR

    公开(公告)号:HK1166557A1

    公开(公告)日:2012-11-02

    申请号:HK12107209

    申请日:2012-07-23

    Abstract: The resonator has a micro electro-mechanical system body i.e. bar, with a core formed of a plate formed at a cut angle in a quartz crystal determining first and second orders temperature coefficients. The body includes a coating deposited partially on the core, where the cut angle of the plate and thickness (d) of the coating are adapted according to thermoelastic coefficients of the coating to obtain first and second orders temperature coefficients of the resonator in order to render the temperature coefficients to be zero. The coating is made of germanium oxide and tantalum oxide.

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