公开(公告)号：CN108231636A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711326830.3

申请日：2017-12-13

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐佐木睦夫 ,  小番达裕

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: B08B5/00 ,  B65D85/30 ,  H01L21/304 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67294 ,  H01L21/6734 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供一种能够小型化、且高精度地检测晶圆搬运容器内的气氛并进行通信的晶圆搬运容器内气氛测量装置，其设置于晶圆搬运容器上并且检测所述晶圆搬运容器内的气氛并进行通信，其中，具有：检测部，其检测所述晶圆搬运容器内的所述气氛；发送信息部，其向外部的接收信息部无线发送包含所述检测部的检测结果的第1信息；电源部，其向所述检测部及所述发送信息部供应电力。

公开(公告)号：CN116325110A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180068546.9

申请日：2021-10-08

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小番达裕 ,  江本淳 ,  工藤拓哉

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明提供具有维护性良好的嘴的上下移动机构的气体吹扫单元等。气体吹扫单元具有：第一吹扫嘴，其在内部形成有气体的流路，与设置在容器的底部的第一吹扫口连通，用于将气体导入所述容器内或将气体从所述容器排出；第一连结部，其在一个端部具有保持所述第一吹扫嘴的第一保持部；和第一致动器，其与所述第一连结部连接，可使所述第一连结部和所述第一吹扫嘴上下移动。

公开(公告)号：CN119480689A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411082926.X

申请日：2024-08-08

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 小番达裕 ,  菅原城 ,  阿部知史

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种映射装置，其检测能够沿着第一方向以规定间隔容纳对象物的容器内的对象物的容纳状态，其中，具有：映射框架，其沿上述第一方向及第二方向移动；第一检测部，其具有一对第一凸部和第一传感器部，上述一对第一凸部在上述第二方向上从上述映射框架突出第一长度，且在第三方向上隔开第一间隔而配置，上述第一传感器部设置于上述一对第一凸部的各前端附近；第二检测部，其具有一对第二凸部和第二传感器部，且配置于相对于上述第一检测部以规定距离而不同的位置，上述一对第二凸部从上述映射框架突出比上述第一长度长的第二长度突出，且在上述第三方向上配置于与上述第一凸部相同的位置，上述第二传感器部设置于上述一对第二凸部的各前端附近。

公开(公告)号：CN108231636B

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN201711326830.3

申请日：2017-12-13

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐佐木睦夫 ,  小番达裕

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种能够小型化、且高精度地检测晶圆搬运容器内的气氛并进行通信的晶圆搬运容器内气氛测量装置，其设置于晶圆搬运容器上并且检测所述晶圆搬运容器内的气氛并进行通信，其中，具有：检测部，其检测所述晶圆搬运容器内的所述气氛；发送信息部，其向外部的接收信息部无线发送包含所述检测部的检测结果的第1信息；电源部，其向所述检测部及所述发送信息部供应电力。