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公开(公告)号：CN113555297B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202110434692.0
申请日：2021-04-22
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种板状对象物的排列检测装置和使用了该装置的装载端口，该板状对象物的排列检测装置中，将判断窗口与由拍摄单元拍摄的拍摄图像重叠，来判断形状匹配率，在判断的形状匹配率为规定值以下的情况下，判断为在与由拍摄单元拍摄的图像重叠的判断窗口内不存在板状对象物。第一基准线是在判断窗口内连续的直线，第二基准线是在判断窗口内排列成直线状的不连续的线段的集合。
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公开(公告)号：CN112635373B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202011072648.1
申请日：2020-10-09
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供能够防止在打开晶圆搬运容器的盖部时内部的气体从连结部分向外部漏出的问题的装载端口装置及装载端口装置的驱动方法等。一种装载端口装置，将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口，具有：载置部，其具有设置上述晶圆搬运容器并相对于上述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从上述载置部向上方直立，并形成有上述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围上述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在上述卡合部进行将上述卡合部卡合于上述凸缘部的卡合动作和将上述卡合部从上述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将上述凸缘夹部进行的上述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。
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公开(公告)号：CN119480689A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411082926.X
申请日：2024-08-08
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种映射装置，其检测能够沿着第一方向以规定间隔容纳对象物的容器内的对象物的容纳状态，其中，具有：映射框架，其沿上述第一方向及第二方向移动；第一检测部，其具有一对第一凸部和第一传感器部，上述一对第一凸部在上述第二方向上从上述映射框架突出第一长度，且在第三方向上隔开第一间隔而配置，上述第一传感器部设置于上述一对第一凸部的各前端附近；第二检测部，其具有一对第二凸部和第二传感器部，且配置于相对于上述第一检测部以规定距离而不同的位置，上述一对第二凸部从上述映射框架突出比上述第一长度长的第二长度突出，且在上述第三方向上配置于与上述第一凸部相同的位置，上述第二传感器部设置于上述一对第二凸部的各前端附近。
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公开(公告)号：CN113555297A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110434692.0
申请日：2021-04-22
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种板状对象物的排列检测装置和使用了该装置的装载端口，该板状对象物的排列检测装置中，将判断窗口与由拍摄单元拍摄的拍摄图像重叠，来判断形状匹配率，在判断的形状匹配率为规定值以下的情况下，判断为在与由拍摄单元拍摄的图像重叠的判断窗口内不存在板状对象物。第一基准线是在判断窗口内连续的直线，第二基准线是在判断窗口内排列成直线状的不连续的线段的集合。
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公开(公告)号：CN112635373A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011072648.1
申请日：2020-10-09
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供能够防止在打开晶圆搬运容器的盖部时内部的气体从连结部分向外部漏出的问题的装载端口装置及装载端口装置的驱动方法等。一种装载端口装置，将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口，具有：载置部，其具有设置上述晶圆搬运容器并相对于上述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从上述载置部向上方直立，并形成有上述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围上述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在上述卡合部进行将上述卡合部卡合于上述凸缘部的卡合动作和将上述卡合部从上述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将上述凸缘夹部进行的上述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。
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