公开(公告)号：CN113555297B

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202110434692.0

申请日：2021-04-22

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 阿部知史 ,  岩本忠将 ,  工藤拓哉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供一种板状对象物的排列检测装置和使用了该装置的装载端口，该板状对象物的排列检测装置中，将判断窗口与由拍摄单元拍摄的拍摄图像重叠，来判断形状匹配率，在判断的形状匹配率为规定值以下的情况下，判断为在与由拍摄单元拍摄的图像重叠的判断窗口内不存在板状对象物。第一基准线是在判断窗口内连续的直线，第二基准线是在判断窗口内排列成直线状的不连续的线段的集合。

公开(公告)号：CN112635373B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202011072648.1

申请日：2020-10-09

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 阿部知史 ,  长谷川弘 ,  加藤望 ,  五十岚宏 ,  岩本忠将

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明提供能够防止在打开晶圆搬运容器的盖部时内部的气体从连结部分向外部漏出的问题的装载端口装置及装载端口装置的驱动方法等。一种装载端口装置，将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口，具有：载置部，其具有设置上述晶圆搬运容器并相对于上述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从上述载置部向上方直立，并形成有上述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围上述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在上述卡合部进行将上述卡合部卡合于上述凸缘部的卡合动作和将上述卡合部从上述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将上述凸缘夹部进行的上述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。

公开(公告)号：CN111584390B

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN201910467372.8

申请日：2019-05-31

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 岩本忠将 ,  工藤拓哉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的装载口不会使容器等超出需要地大型化，且不影响基板的形状，能够高精度且高速地检测基板的状态。装载口(1)包括：门部(14)，可开放地封闭与多层地收纳多个基板W的容器(2)内连通的开口部(15)，并能够在封闭开口部的封闭位置与开放开口部的开放位置(P2)之间升降移动；映射传感器(20)，与门部设置成一体，用于检测基板的状态，映射传感器具有向基板照射拍摄用的光(La)的发光部(50)和拍摄由发光部照明的照明区域内来取得拍摄图像的摄像部(52)，对发光部和摄像部的至少一者进行调整以使得由容器(2)的第1内壁面(31)反射的反射光即内壁面反射光(Lc)的光轴(Oc)的中心部不直接朝向摄像部。

公开(公告)号：CN113555297A

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN202110434692.0

申请日：2021-04-22

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 阿部知史 ,  岩本忠将 ,  工藤拓哉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供一种板状对象物的排列检测装置和使用了该装置的装载端口，该板状对象物的排列检测装置中，将判断窗口与由拍摄单元拍摄的拍摄图像重叠，来判断形状匹配率，在判断的形状匹配率为规定值以下的情况下，判断为在与由拍摄单元拍摄的图像重叠的判断窗口内不存在板状对象物。第一基准线是在判断窗口内连续的直线，第二基准线是在判断窗口内排列成直线状的不连续的线段的集合。

公开(公告)号：CN112635373A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202011072648.1

申请日：2020-10-09

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 阿部知史 ,  长谷川弘 ,  加藤望 ,  五十岚宏 ,  岩本忠将

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明提供能够防止在打开晶圆搬运容器的盖部时内部的气体从连结部分向外部漏出的问题的装载端口装置及装载端口装置的驱动方法等。一种装载端口装置，将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口，具有：载置部，其具有设置上述晶圆搬运容器并相对于上述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从上述载置部向上方直立，并形成有上述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围上述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在上述卡合部进行将上述卡合部卡合于上述凸缘部的卡合动作和将上述卡合部从上述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将上述凸缘夹部进行的上述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。

公开(公告)号：CN111584390A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201910467372.8

申请日：2019-05-31

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 岩本忠将 ,  工藤拓哉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的装载口不会使容器等超出需要地大型化，且不影响基板的形状，能够高精度且高速地检测基板的状态。装载口(1)包括：门部(14)，可开放地封闭与多层地收纳多个基板W的容器(2)内连通的开口部(15)，并能够在封闭开口部的封闭位置与开放开口部的开放位置(P2)之间升降移动；映射传感器(20)，与门部设置成一体，用于检测基板的状态，映射传感器具有向基板照射拍摄用的光(La)的发光部(50)和拍摄由发光部照明的照明区域内来取得拍摄图像的摄像部(52)，对发光部和摄像部的至少一者进行调整以使得由容器(2)的第1内壁面(31)反射的反射光即内壁面反射光(Lc)的光轴(Oc)的中心部不直接朝向摄像部。