公开(公告)号：EP0525286B1

公开(公告)日：1996-09-11

申请号：EP92103251.2

申请日：1992-02-26

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： Malin, Cosmas, Dipl. El. Ing./ETH ,  Steigmeier, Edgar F., Dr. Ing./ETH ,  Nesensohn, Thomas ,  Sawatzki, Harry L. ,  Auderset, Heinrich ,  Schmid, Gert

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01M11/0278 ,  G01N21/93 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8867 ,  G01N2021/8907 ,  G01N2201/1045

公开(公告)号：EP0525286A1

公开(公告)日：1993-02-03

申请号：EP92103251.2

申请日：1992-02-26

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： Malin, Cosmas, Dipl. El. Ing./ETH ,  Steigmeier, Edgar F., Dr. Ing./ETH ,  Nesensohn, Thomas ,  Sawatzki, Harry L. ,  Auderset, Heinrich ,  Schmid, Gert

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01M11/0278 ,  G01N21/93 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8867 ,  G01N2021/8907 ,  G01N2201/1045

Abstract: Mit dieser Einrichtung lassen sich Oberflächen zerstörungsfrei und ganzflächig auf Defekte und Kontaminationen untersuchen, wobei sowohl mikroskopisch kleine punkt- oder linienförmige Defekte als auch feinste makroskopische Inhomogenitäten erfasst werden. Zu diesem Zweck ist im Strahlengang zwischen Lichtquelle (2) und Objektiv (9) ein in verschiedene Stellungen steuerbares Linsensystem (5) angeordnet, das verschiedene Zwischenbilder (31) erzeugt. Bei einer ersten Abtastung der gesamten Oberfläche (10) mit relativ grossem Vorschub, wird ein erstes, zigarrenförmiges Zwischenbild, und bei einer zweiten, ausschnittsweisen Abtastung mit kleinem Vorschub ein zweites, punktförmiges Zwischenbild angewendet.
Eine im Strahlengang zwischen Linsensystem (5) und Objektiv (9) angeordnete Dunkelfeldstop-Baugruppe (18) mit einer einstellbaren Dunkelfeldumlenkung (8), richtet den Beleuchtungsstrahl (1) nach der Umlenkung exakt zentrisch im rechten Winkel durch das Objektiv (9) auf die Oberfläche (10). Das von der Oberfläche (10) abgestrahlte, im Objektiv (9) gesammelte Licht ist auf einen Photodetektor (19) gerichtet. Eine Auswerteelektronik (21) zerlegt die verstärkten Ausgangssignale des Photodetektors (19) in Messwerte, die von punktförmigen, linienförmigen und flächenförmigen Defekten herrühren. Die Auswerteelektronik (21) ist über eine Recheneinheit (22) mit Peripheriegeräten (23, 24, 25) verbunden, mittels welchen die Gesamtheit aller Messwerte einer Messung dargestellt werden kann.

Abstract translation: 利用这种布置，表面可以是非破坏性的，检查缺陷和污染的整个区域，并且两者都检测到微观的点或线的缺陷以及最好的宏观的不均匀性。 为了这个目的，可控制到各种位置的透镜系统（5），不同的中间图像（31）被布置在所述光源（2）和（9），产生了透镜之间的光路。 在整个表面（10）的具有相对大的进料速率，第一，雪茄形中间图像，并施加到第二扫描与第二进料，点状的中间图像的小细节的第一扫描。 甲在透镜系统（5）和透镜之间的光路（9），其设置具有可调暗场偏转（8）的照明光束（1）的偏转后以直角穿过透镜（9）到所述引导恰好集中暗场止动组件（18） 表面（10）。 从表面（10）辐射，（9）中收集的光被引导到光检测器（19）的透镜。 发射机（21）把在从点状的，直链的和平面的缺陷产生的测量值光检测器（19）的放大的输出信号。 发射机（21）通过计算单元（22）与外围设备（23，24，25），借助该测量的所有测量值的总和可表示连接。