公开(公告)号：EP0524348A1

公开(公告)日：1993-01-27

申请号：EP91122162.0

申请日：1991-12-23

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： Malin, Cosmas, Dipl.-Ing. ,  Steigmeier, Edgar F., Dr. Ing. ,  Nesensohn, Thomas ,  Sawatzki, Harry L. ,  Auderset, Heinrich

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01M11/0278 ,  G01N21/93 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8867 ,  G01N2021/8907 ,  G01N2201/1045

Abstract: Mit dieser Einrichtung lassen sich Oberflächen zerstörungsfrei und ganzflächig auf Defekte und Kontaminationen untersuchen, wobei sowohl mikroskopisch kleine punkt- oder linienförmige Defekte als auch feinste makroskopische Inhomogenitäten erfasst werden. Zu diesem Zweck ist im Strahlengang zwischen Lichtquelle (2) und Objektiv (9) ein astigmatisches Linsensystem (5) angeordnet, das ein zigarrenförmiges Zwischenbild (31) erzeugt, wobei in Abhängigkeit von dem Zwischenbild (31) der Vorschub beim Abtasten der Oberfläche (10) der auf diese Oberfläche (10) projizierten Länge des Zwischenbildes (31) entspricht. Eine im Strahlengang zwischen Linsensystem (5) und Objektiv (9) angeordnete Dunkelfeldstop-Baugruppe (18) mit einer einstellbaren Dunkelfeldumlenkung (8) , richtet den Beleuchtungsstrahl (1) nach der Umlenkung exakt zentrisch im rechten Winkel durch das Objektiv (9) auf die Oberfläche (10) . Das von der Oberfläche (10) abgestrahlte, im Objektiv (9) gesammelte Licht ist auf einen Photodetektor (19) gerichtet. Eine Auswerteelektronik (21) zerlegt die verstärkten Ausgangssignale des Photodetektors (19) in Messwerte, die von punktförmigen, linienförmigen und flächenförmigen Defekten herrühren. Die Auswerteelektronik (21) ist über eine Recheneinheit (22) mit Peripheriegeräten (23, 24, 25) verbunden, mittels welchen die Gesamtheit aller Messwerte einer Messung dargestellt werden kann.

Abstract translation: 可以使用该装置在整个区域上以非破坏性方式检查表面的缺陷和污染物，微观上小的点状或线性缺陷以及正在检测的最佳的宏观不均匀性。 为此，在光源（2）和透镜（9）之间的光束路径中布置产生雪茄状中间像（31）的像散透镜系统（5），在扫描表面（10 ）对应于所述中间图像（31）的长度的函数，投影到所述中间图像（31）的所述表面（10）上。 布置在透镜系统（5）和透镜（9）之间的光束路径中并且具有可调整的暗场偏转系统（8）的暗场子组件（18）引导照射光束（1） 通过透镜（9）以正确的角度精确地中心偏转到表面（10）上。 从表面（10）发射并收集在透镜（9）中的光被引导到光电检测器（19）上。 评估电子系统（21）将光电检测器（19）的放大的输出信号分解成来自扁平，线性和平面缺陷的测量值。 评估电子系统（21）经由计算机单元（22）连接到外围设备（23,24,25），通过它们可以表示测量的所有测量值的总和。

公开(公告)号：EP0524348B1

公开(公告)日：1999-12-01

申请号：EP91122162.0

申请日：1991-12-23

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： Malin, Cosmas, Dipl.-Ing. ,  Steigmeier, Edgar F., Dr. Ing. ,  Nesensohn, Thomas ,  Sawatzki, Harry L. ,  Auderset, Heinrich

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01M11/0278 ,  G01N21/93 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8867 ,  G01N2021/8907 ,  G01N2201/1045