公开(公告)号：JPS5444565A

公开(公告)日：1979-04-09

申请号：JP5644078

申请日：1978-05-11

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： UIRIAMU AARU UIRAA ,  JIYOOJI JIEI KUREN ,  KAARERU UUABANETSUKU

IPC: G01B5/20 ,  G01B5/00 ,  G01B7/00 ,  G01B7/28 ,  G01B7/34 ,  G01B21/20

公开(公告)号：JPS5540988A

公开(公告)日：1980-03-22

申请号：JP5466379

申请日：1979-05-01

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： KAARERU UUABANETSUKU ,  JIYOOJI JIEI KUREN ,  UIRIAMU AARU UIRAA

IPC: G01R27/02 ,  G01R31/26 ,  G01S15/32

公开(公告)号：JPS625281B2

公开(公告)日：1987-02-04

申请号：JP5644078

申请日：1978-05-11

Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

Inventor： UIRIAMU AARU UIRAA ,  JOOJI JEI KUREN ,  KAARERU UUABANETSUKU

IPC: G01B5/20 ,  G01B5/00 ,  G01B7/00 ,  G01B7/28 ,  G01B7/34 ,  G01B21/20