公开(公告)号：JPS52150619A

公开(公告)日：1977-12-14

申请号：JP6710976

申请日：1976-06-10

Applicant: TORAY INDUSTRIES

Inventor： YOSHINO TSUNEO ,  OOBAYASHI GENTAROU

IPC: G03C1/72 ,  G03C1/52 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312

公开(公告)号：JPS52110102A

公开(公告)日：1977-09-16

申请号：JP2556676

申请日：1976-03-11

Applicant: TORAY INDUSTRIES

Inventor： MATSUURA KAZUO ,  AYA TOSHIHIKO ,  IZUMI ZENJI ,  YOSHINO TSUNEO ,  OOBAYASHI GENTAROU

IPC: C08K5/00 ,  C08J3/24 ,  C08K5/17 ,  C08K5/22 ,  C08L1/00 ,  C08L25/00 ,  C08L27/00 ,  C08L33/00 ,  C08L33/02 ,  C08L101/02 ,  G03C1/72

公开(公告)号：JPS52128939A

公开(公告)日：1977-10-28

申请号：JP4497876

申请日：1976-04-22

Applicant: TORAY INDUSTRIES

Inventor： YOSHINO TSUNEO ,  OOBAYASHI GENTAROU ,  IZUMI ZENJI ,  AYA TOSHIHIKO ,  MATSUURA KAZUO

IPC: C08L7/00 ,  C08K5/00 ,  C08K5/54 ,  C08L9/00 ,  C08L31/00 ,  C08L31/04 ,  C08L33/00 ,  C08L33/02 ,  C08L33/04 ,  C08L33/08 ,  C08L33/10 ,  C08L33/22 ,  C08L39/00 ,  G03C1/00 ,  G03C1/54 ,  G03F7/004 ,  G03F7/016 ,  G03F7/038

Abstract: PURPOSE:A photosensitive resin composition excellent in mechanical strength, resolution power, chemical resistance, comprising a specific random copolymer and a salt of fluoroborate.

公开(公告)号：JPS52110104A

公开(公告)日：1977-09-16

申请号：JP2556876

申请日：1976-03-11

Applicant: TORAY INDUSTRIES

Inventor： MATSUURA KAZUO ,  AYA TOSHIHIKO ,  IZUMI ZENJI ,  YOSHINO TSUNEO ,  OOBAYASHI GENTAROU

IPC: C08K5/00 ,  C08J3/24 ,  C08K5/17 ,  C08K5/22 ,  C08L1/00 ,  C08L25/00 ,  C08L27/00 ,  C08L33/00 ,  C08L33/02 ,  C08L101/06 ,  G03C1/72

公开(公告)号：JPS52110103A

公开(公告)日：1977-09-16

申请号：JP2556776

申请日：1976-03-11

Applicant: TORAY INDUSTRIES

Inventor： MATSUURA KAZUO ,  AYA TOSHIHIKO ,  IZUMI ZENJI ,  YOSHINO TSUNEO ,  OOBAYASHI GENTAROU

IPC: C08L29/00 ,  C08J3/24 ,  C08K5/17 ,  C08K5/22 ,  C08L25/00 ,  C08L29/04 ,  C08L33/00 ,  C08L33/02 ,  C08L101/02 ,  G03C1/72 ,  G03F7/038