公开(公告)号：FR3045028A1

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：FR1562174

申请日：2015-12-11

Applicant: TRONIC'S MICROSYSTEMS

Inventor： COLLET JOEL

IPC: B81C1/00 ,  B81B3/00

Abstract: Dispositif électromécanique comportant : - un empilement formé d'une couche isolante (31) interposée entre deux couches massives (10, 30), - une structure micromécanique (60) en suspension au-dessus d'une cavité (4), et - une structure nanométrique (7) en suspension au-dessus de la cavité (4), - la position respective de la structure nanométrique (7) par rapport à la structure micrométrique (60) étant définie par la délimitation des contours des deux structures (7, 60) au moyen d'une gravure d'une première face d'un substrat formé d'une couche massive (10) de sorte à obtenir des tranchées (16) délimitant les structures (7, 60).

公开(公告)号：FR3045028B1

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：FR1562174

申请日：2015-12-11

Applicant: TRONIC'S MICROSYSTEMS

Inventor： COLLET JOEL

IPC: B81C1/00 ,  B81B3/00

公开(公告)号：FR3028257A1

公开(公告)日：2016-05-13

申请号：FR1460871

申请日：2014-11-10

Applicant: TRONIC'S MICROSYSTEMS

Inventor： COLLET JOEL

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00

Abstract: Dispositif électromécanique caractérisé en ce qu'il comprend : - un empilement formé d'une couche isolante (31) interposée entre deux couches massives (10, 30), - une structure micromécanique (60, 61) d'épaisseur prédéterminée en suspension au-dessus d'une cavité (4) de profondeur prédéterminée, la cavité (4) et la structure micromécanique (60, 61) formant l'une (10) des deux couches massives (10, 30) de l'empilement, et la couche isolante (31) formant le fond de ladite cavité (4).