公开(公告)号：WO2017055029A1

公开(公告)日：2017-04-06

申请号：PCT/EP2016/070993

申请日：2016-09-06

Applicant: TRONIC'S MICROSYSTEMS

Inventor： VOLANT, Valérie ,  GIGAN, Olivier ,  LECLERC, Jacques

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/0048

Abstract: L'invention concerne un dispositif de fixation de deux éléments (11-12) tels qu'une puce, un interposeur et un support dont un au moins des deux éléments (11-12) est micro fabriqué, le dispositif comportant: - au moins un plot (25) saillant et structuré dans un premier élément (11) s'étendant en regard du deuxième élément (12), - le plot (25) étant configuré pour créer une zone de fixation (16) entre une extrémité (27) du plot (25) et le deuxième élément (12), - une couche de fixation (14) déposée dans la zone de fixation (16) de sorte à fixer le plot (25) avec le deuxième élément (12), et - une cavité (30) réalisée au niveau de la zone de fixation (16) de sorte que la couche de fixation (14) s'étende au moins en partie à l'intérieur de la cavité (30).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于连接两个元件（11-12）的装置，例如芯片，插入件和支撑件，所述两个元件（11-12）中的至少一个被微型制造，所述装置包括： - 至少一个 突出螺柱（25），其构造成面向所述第二元件（12）延伸的第一元件（11）中，所述螺柱（25）构造成在所述螺柱（25）的一个端部（27）之间产生附接区域（16） 和所述第二元件（12）， - 沉积在所述附接区域（16）中以将所述螺柱（25）附接到所述第二元件（12）的附接层（14），以及 - 形成在所述第二元件 附接区域（16），使得附接层（14）至少部分地延伸到凹部（30）中。

公开(公告)号：WO2011004113A1

公开(公告)日：2011-01-13

申请号：PCT/FR2010/051415

申请日：2010-07-05

Applicant: TRONIC'S MICROSYSTEMS ,  LECLERC, Jacques

Inventor： LECLERC, Jacques

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0072 ,  G01L9/0073

Abstract: Dispositif de mesure de pression par effet capacitif entre deux électrodes comprenant au moins une électrode sensible (11) disposée en regard et à distance d'une électrode fixe (211) de manière à délimiter une cavité (4) dans laquelle règne une pression de référence (Pref). Le dispositif selon l'invention comprend en outre un boîtier (1) de protection destiné à isoler au moins l'électrode fixe de l'environnement ambiant dans lequel règne la pression à mesurer (P), ledit boîtier (1) présentant au moins une partie massive formant logement (10) destiné à contenir au moins l'électrode fixe (211), et une partie amincie formant l'électrode sensible (11).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于通过两个电极之间的电容效应来测量压力的装置，包括至少一个与固定电极（211）间隔开并相对的敏感电极（11），以便限定空腔（4），其中参考 压力（Pref）存在。 根据本发明的装置还包括保护壳体（1），用于至少将固定电极与要测量的压力（P）存在的周围环境绝缘，所述壳体（1）具有至少一个实心部分，形成 至少容纳固定电极（211）的凹部（10）和形成敏感电极（11）的变薄部分。

公开(公告)号：EP2452174A1

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：EP10742200.8

申请日：2010-07-05

Applicant: Tronic's Microsystems

Inventor： LECLERC, Jacques

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0072 ,  G01L9/0073

Abstract: The invention relates to a device for measuring pressure through the capacitive effect between two electrodes, including at least one sensitive electrode (11) spaced apart from and opposite a stationary electrode (211) so as to define a cavity (4) in which a reference pressure (Pref) exists. The device according to the invention further includes a protective housing (1) for insulating at least the stationary electrode from the ambient environment in which the pressure (P) to be measured exists, said housing (1) having at least one solid portion, forming a recess (10) for containing at least the stationary electrode (211), and a thinned portion forming the sensitive electrode (11).

公开(公告)号：EP2795253B1

公开(公告)日：2018-10-03

申请号：EP12821255.2

申请日：2012-12-20

Applicant: Tronic's Microsystems

Inventor： LECLERC, Jacques

IPC: G01C19/5712 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01C19/5712 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P15/14 ,  G01P2015/0862

Abstract: A resonator micro-electronic inertial sensor, preferably a micro-electromechanical system (MEMS) sensor (e.g. a gyro), for detecting linear accelerations and rotation rates in more than one axis comprises: €¢ a proof-mass system (21.1, ..., 21.4) flexibly suspended above a substrate for performing a rotational in-plane vibration about a central axis (24,) €¢ a drive electrode system (D1, ..., D4) for driving the proof-mass system (21.1, ..., 21.4) to perform said rotational in-plane vibration, €¢ and a sensing electrode system (S1, ..., S8) connected to the proof-mass system (21.1, ..., 21.4) for detecting linear accelerations or rotation rates in more than one axis. Said proof-mass system (21.1, ..., 21.4) has more than two proof-mass elements flexibly coupled (25.1a, 25.1 b) to each other. Each proof-mass element (21.1, 21.2) is directly and flexibly connected (23.1, 25.1a, 25.1 b) to an anchor structure (22) on the substrate (32). The proof-mass elements (21.1, ..., 21.4) are preferably arranged in a ring-shaped configuration between an inner and an outer radius (R1, R2) with respect to the central axis (24).

公开(公告)号：EP3356287A1

公开(公告)日：2018-08-08

申请号：EP16769883.6

申请日：2016-09-06

Applicant: Tronic's Microsystems

Inventor： VOLANT, Valérie ,  GIGAN, Olivier ,  LECLERC, Jacques

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/0048

Abstract: The invention concerns a device for attaching two elements (11-12) such as a chip, an interposer and a support, at least one of said two elements (11-12) being micro-manufactured, the device comprising: - at least one projecting stud (25) structured in a first element (11) extending facing the second element (12), - the stud (25) being configured to create an attachment area (16) between one end (27) of the stud (25) and the second element (12), - an attachment layer (14) deposited in the attachment area (16) so as to attach the stud (25) to the second element (12), and - a recess (30) made in the attachment area (16) such that the attachment layer (14) extends at least partially into the recess (30).